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原文传递薄膜涂层色度分析设备和薄膜涂层分类系统

专利名称：	薄膜涂层色度分析设备和薄膜涂层分类系统
摘要：	本实用新型提供了一种薄膜涂层色度分析设备和薄膜涂层分类系统，属于薄膜涂层色度分析技术领域。本实用新型提供了一种薄膜涂层色度分析设备，包括分光色度计、光源和待测样品；待测样品包括基材和设置在基材上表面的薄膜涂层；分光色度计和光源设置在待测样品的上方；光源与待测样品的距离为15‑35cm；直线A与直线B的夹角为1‑15°。通过薄膜涂层色度分析设备获得不同种类薄膜涂层的色度值，建立数据库，从而通过测定待测薄膜涂层色度值，结合数据库简单快速地判断薄膜涂层的种类，这种分类方法简单、快捷、实用，应用于类金刚石薄膜分类，可大幅度简化类金刚石薄膜分类过程，为实际应用于生产带来了极大的便利。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	深圳先进技术研究院
发明人：	唐永炳;周小龙
专利状态：	有效
申请日期：	2018-12-19T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-18T00:00:00+0800
申请号：	CN201822143468.2
公开号：	CN209513603U
代理机构：	深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	吴乃壮
分类号：	G01N21/25(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	518000 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号
主权项：	1.一种薄膜涂层色度分析设备，其特征在于，包括分光色度计、光源和待测样品；所述待测样品包括基材和设置在基材上表面的薄膜涂层；所述分光色度计和光源设置在待测样品的上方；所述光源与待测样品的距离为15-35cm；所述光源的中心点到待测样品的垂足为交点D；所述光源的中心点到交点D的直线为直线A，所述分光色度计的中心点到交点D的直线为直线B；所述直线A与直线B的夹角为1-15°。 2.根据权利要求1所述的薄膜涂层色度分析设备，其特征在于，所述色度分析设备还包括样品台，所述待测样品放置在样品台表面；和/或，所述分光色度计和光源平齐，所述待测样品位于光源正下方；和/或，所述直线A与直线B的夹角为5-10°。 3.根据权利要求2所述的薄膜涂层色度分析设备，其特征在于，所述直线A与直线B的夹角为10°。 4.根据权利要求1-3任一项所述的薄膜涂层色度分析设备，其特征在于，所述光源为白色LED光源；和/或，所述分光色度计能够实现CIELAB和/或CIELUV颜色空间测试要求。 5.根据权利要求1-3任一项所述的薄膜涂层色度分析设备，其特征在于，所述基材包括单晶硅、石英、透明导电玻璃或硬质合金中的至少一种。 6.根据权利要求5所述的薄膜涂层色度分析设备，其特征在于，所述基材包括单晶硅。 7.根据权利要求1-3任一项所述的薄膜涂层色度分析设备，其特征在于，所述薄膜涂层的粗糙度小于10nm，所述薄膜涂层的厚度为20-3000nm；和/或，所述薄膜涂层包括无机非金属薄膜。 8.根据权利要求7所述的薄膜涂层色度分析设备，其特征在于，所述薄膜涂层包括类金刚石薄膜或钻石薄膜。 9.根据权利要求8所述的薄膜涂层色度分析设备，其特征在于，所述薄膜涂层包括类金刚石薄膜。 10.一种薄膜涂层分类系统，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的薄膜涂层色度分析设备。
所属类别：	实用新型