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原文传递一种硅片传输机构

专利名称：	一种硅片传输机构
摘要：	本实用新型公开了一种硅片传输机构，涉及硅片传输设备技术领域，包括传送带和多组支撑组件，多组所述支撑组件固定在所述传送带上，所述支撑组件包括四个用于支撑所述硅片四角的支撑块，所述支撑块上朝向所述硅片的一侧具有两个倾斜支撑面，两个所述倾斜支撑面分别用于支撑所述硅片一角的相邻两边。本实用新型中，通过四个支撑块、以及在每个支撑块上均设置与硅片一角的两个侧边相匹配的两个倾斜支撑面的设计，将硅片输送过程中，传统的底部支撑方式变更为侧边部支撑方式，避免硅片表面被污染或者遭到结构破坏，且倾斜支撑面设置在硅片四周，还能够防止硅片侧向跑偏以及防止硅片与传送带在输送过程中产生相对滑动。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	君泰创新(北京)科技有限公司
发明人：	王旭东;范慧斌
专利状态：	有效
申请日期：	2018-12-13T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-22T00:00:00+0800
申请号：	CN201822091778.4
公开号：	CN209522166U
代理机构：	北京风雅颂专利代理有限公司
代理人：	陈宙
分类号：	B65G15/58(2006.01);B;B65;B65G;B65G15
申请人地址：	100176 北京市大兴区亦庄经济技术开发区荣华南路9号院2号楼10层
主权项：	1.一种硅片传输机构，其特征在于：包括传送带和用于承载硅片的多组支撑组件；多组所述支撑组件固设于所述传送带上，所述支撑组件包括四个用于支撑所述硅片四角的支撑块，所述支撑块上朝向所述硅片的一侧具有两个倾斜支撑面，两个所述倾斜支撑面分别用于支撑所述硅片一角的相邻两边。 2.根据权利要求1所述的硅片传输机构，其特征在于：所述支撑组件与所述传送带的固定方式为胶接。 3.根据权利要求1所述的硅片传输机构，其特征在于：所述支撑组件与所述传送带的固定方式为紧固件紧固连接。 4.根据权利要求3所述的硅片传输机构，其特征在于：所述紧固件为螺丝或者铆钉。 5.根据权利要求1-4任意一项所述的硅片传输机构，其特征在于：还包括硅片移载吸盘，所述硅片移载吸盘设置于所述传送带的输入端。 6.根据权利要求1-4任意一项所述的硅片传输机构，其特征在于：将所述传送带替换为链条。 7.根据权利要求1所述的硅片传输机构，其特征在于：所述支撑组件还包括底座、第一弹性件和第二弹性件，所述底座固定在所述传送带上，所述支撑块设置于所述底座上方，所述底座远离所述硅片的一侧向上凸出设有抵接部，所述第一弹性件和所述第二弹性件的两端分别连接所述抵接部与所述支撑块，所述第一弹性件沿所述支撑块的其中一个倾斜支撑面的受力方向的水平投影方向设置，所述第二弹性件沿所述支撑块的另一个倾斜支撑面的受力方向的水平投影方向设置。 8.根据权利要求7所述的硅片传输机构，其特征在于：所述第一弹性件与所述第二弹性件均为弹簧。 9.根据权利要求7所述的硅片传输机构，其特征在于：所述底座与所述传送带的固定连接方式为胶水连接或者紧固件连接。
所属类别：	实用新型