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原文传递一种硅片连续式自定位传输机构

专利名称：	一种硅片连续式自定位传输机构
摘要：	本实用新型涉及硅片加工技术领域，尤其涉及一种硅片连续式自定位传输机构，包括传片机构、第一定位机构及第二定位机构，通过在传片机构末端分别设置第一定位机构及第二定位机构，并预先设定第一定位机构及第二定位机构所调整的坐标位置，使通过传片机构传送至第一定位机构及第二定位机构处的硅片在传送过程中完成三点自定心调整，实现硅片自动化精准稳定定位，确保硅片的中心与后续转移吸附机构精确配合，节省后续倒角加工前的自调心步骤，实现批量硅片连续式自动定位，工艺连续性好，自动化程度高，大大节省人力，且可通过调整第一定位机构及第二定位机构的坐标参数，实现实现对不同尺寸的硅片进行定位，满足工业生产的多种需要。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	浙江;33
申请人：	浙江中晶新材料研究有限公司
发明人：	万喜增;严云;黄笑容;郑六奎
专利状态：	有效
申请日期：	2018-11-01T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-12T00:00:00+0800
申请号：	CN201821788005.5
公开号：	CN209097528U
代理机构：	北京众合诚成知识产权代理有限公司
代理人：	韩燕燕
分类号：	B65G13/11(2006.01);B;B65;B65G;B65G13
申请人地址：	313100 浙江省湖州市长兴县太湖街道陆汇路59号
主权项：	1.一种硅片连续式自定位传输机构，其特征在于，包括：传片机构(1)，所述传片机构(1)为辊式输送，其包括输送辊组件(11)与驱动组件(12)，所述驱动组件(12)驱动所述输送辊组件(11)输送硅片(10)；第一定位机构(2)，所述第一定位机构(2)设置于所述传片机构(1)的输出端，其正对所述传片机构(1)设置，其包括第一滑动组件(21)与第一定位组件(22)，所述第一滑动组件(21)驱动所述第一定位组件(22)沿所述传片机构(1)的输送方向对所述硅片(10)定位；以及第二定位机构(3)，所述第二定位机构(3)设置于所述传片机构(1)的输出端处，其包括第二滑动组件(31)与第二定位组件(32)，所述第二滑动组件(31)位于所述第一定位组件(22)的下方，其长度方向与所述传片机构(1)的输送方向水平垂直设置，所述第二定位组件(32)水平对称设置于所述第一定位组件(22)的两侧，其由所述第二滑动组件(31)驱动沿所述第二滑动组件(31)的长度方向同步滑动，且其沿与所述传片机构(1)的输送方向的水平垂直方向对所述硅片(10)两侧定位。 2.根据权利要求1所述的一种硅片连续式自定位传输机构，其特征在于，所述输送辊组件(11)包括：辊轮(111)，若干所述辊轮(111)沿所述传片机构(1)的输送方向依次排列并转动设置于安装架(110)上；第一传动齿轮(112)，若干所述第一传动齿轮(112)分别固定设置于若干所述辊轮(111)的一端，其与所述辊轮(111)同轴设置；以及第二传动齿轮(113)，若干所述第二传动齿轮(113)交错设置于所述第一传动齿轮(112)之间，其与所述安装架(110)转动连接，且其与所述第一传动齿轮(112)啮合连接。 3.根据权利要求2所述的一种硅片连续式自定位传输机构，其特征在于，所述驱动组件(12)包括：驱动件a(121)，所述驱动件a(121)通过支架(120)设置于所述安装架(110)底部一端靠近所述第一传动齿轮(112)的一侧，其驱动轴a(1211)正对所述第一传动齿轮(112)与所述辊轮(111)平行设置；主动齿轮(122)，所述主动齿轮(122)同轴设置于所述驱动轴a(1211)上；从动齿轮(123)，所述从动齿轮(123)设置于所述驱动件a(121)上方，其与所述安装架(110)转动连接，所述从动齿轮(123)底部与所述主动齿轮(122)啮合连接，其一侧与所述第一传动齿轮(112)啮合连接，所述驱动件a(121)通过主动齿轮(122)、从动齿轮(123)、第一传动齿轮(112)及第二传动齿轮(113)传动驱动所述辊轮(111)转动。 4.根据权利要求1所述的一种硅片连续式自定位传输机构，其特征在于，所述第一滑动组件(21)包括：第一安装座(211)，所述第一安装座(211)水平垂直于所述第二滑动组件(31)设置于底座(210)上；第一丝杠(212)，所述第一丝杠(212)转动设置于所述第一安装座(211)上；第一驱动件(213)，所述第一驱动件(213)通过驱动轴固定设置于所述第一丝杠(212)的一端，其驱动所述第一丝杠(212)转动。 5.根据权利要求4所述的一种硅片连续式自定位传输机构，其特征在于，所述第一定位组件(22)包括：第一滑块(221)，所述第一滑块(221)套设于所述第一丝杠(212)上，其由所述第一丝杠(212)转动带动沿所述传片机构(1)的输送方向往复滑动；第一连接板(222)，所述第一连接板(222)的一端与所述第一滑块(221)可拆卸连接，另一端延伸至所述第二定位组件(32)之间；第一定位板(223)，所述第一定位板(223)竖直设置于所述第一连接板(222)背离所述第一滑块(221)的一端，且其与所述第一定位板(223)的长度方向垂直设置，其沿所述传片机构(1)的输送方向对所述硅片(10)定位。 6.根据权利要求1所述的一种硅片连续式自定位传输机构，其特征在于，所述第二滑动组件(31)包括：第二安装座(311)，所述第二安装座(311)设置于所述第一定位组件(22)的下方；第二丝杠(312)，所述第二丝杠(312)为反向丝杠，其转动设置于所述第二安装座(311)上；第二驱动件(313)，所述第二驱动件(313)通过驱动轴固定设置于所述第二丝杠(312)的一端，其驱动所述第二丝杠(312)转动。 7.根据权利要求6所述的一种硅片连续式自定位传输机构，其特征在于，所述第二定位组件(32)包括：第二滑块(321)，所述第二滑块(321)对称套设于所述第二丝杠(312)上，其由所述第二丝杠(312)转动带动沿所述第二丝杠(312)的长度方向同步滑动；第二连接板(322)，所述第二连接板(322)的一端与所述第二滑块(321)可拆卸连接，另一端延伸至所述输送辊组件(11)上；第二定位板(323)，所述第二定位板(323)分别竖直设置于所述第二连接板(322)靠近所述第一定位组件(22)的一侧，其沿与所述传片机构(1)输送方向的水平垂直方向对所述硅片(10)两侧定位。 8.根据权利要求7所述的一种硅片连续式自定位传输机构，其特征在于，所述第二定位板(323)背离所述第二滑块(321)的一端向所述传片机构(1)的输入端延伸并分别向所述第二滑动组件(31)的两端倾斜。
所属类别：	实用新型