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一种钻石线切割机硅片预清洗装置
| 专利名称： | 一种钻石线切割机硅片预清洗装置 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种钻石线切割机硅片预清洗装置，包括机舱，机舱内设有线网工作台，线网工作台上方设有用于升降工件的工件升降装置，机舱上还设有喷淋管路，喷淋管路分别设于线网工作台的上方，喷淋管路分别设于工件升降装置的两侧。本实用新型提供的钻石线切割机硅片预清洗装置，在线网工作台上方设有喷淋管路，适用于切割机下料过程中硅片及机舱部件的预清洗，使硅片在切割完成后得到及时的预清洗，降低切割硅片后硅片表面脏花问题，为后续清洗做基础。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 天津;12 |
| 申请人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 发明人： | 李彦南;张猛;刘超 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2018-10-22T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-10-22T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201821711072.7 |
| 公开号： | CN209521128U |
| 代理机构： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) |
| 代理人： | 栾志超 |
| 分类号： | B28D7/02(2006.01);B;B28;B28D;B28D7 |
| 申请人地址： | 300384 天津市滨海新区华苑产业区(环外)海泰东路12号 |
| 主权项： | 1.一种钻石线切割机硅片预清洗装置，包括机舱，所述机舱内设有线网工作台，所述线网工作台上方设有用于升降工件的工件升降装置，其特征在于：所述机舱上还设有喷淋管路，所述喷淋管路分别设于所述线网工作台的上方，所述喷淋管路分别设于所述工件升降装置的两侧。 2.根据权利要求1所述的钻石线切割机硅片预清洗装置，其特征在于：所述喷淋管路包括主管路、第一分支管路和第二分支管路，所述主管路设于所述机舱内壁上，所述主管路依次与所述第一分支管路的一端和所述第二分支管路的一端连接，所述第一分支管路的另一端和所述第二分支管路的另一端均封闭，所述第一分支管路的另一端与所述机舱连接，所述第二分支管路的另一端与所述机舱连接。 3.根据权利要求2所述的钻石线切割机硅片预清洗装置，其特征在于：所述第一分支管路与所述第二分支管路分别设于所述线网工作台的上方，所述第一分支管路与所述第二分支管路分别设于所述工件升降装置的两侧。 4.根据权利要求3所述的钻石线切割机硅片预清洗装置，其特征在于：所述第一分支管路与所述第二分支管路上均设有3-9个多角度喷淋管，所述多角度喷淋管包括上喷淋管和下喷淋管，所述上喷淋管斜向上设置，所述下喷淋管斜向下设置。 5.根据权利要求4所述的钻石线切割机硅片预清洗装置，其特征在于：所述上喷淋管与水平面夹角为15-50°。 6.根据权利要求4所述的钻石线切割机硅片预清洗装置，其特征在于：所述下喷淋管与水平面夹角为20-60°。 7.根据权利要求3-6任一项所述的钻石线切割机硅片预清洗装置，其特征在于：所述第一分支管路和所述第二分支管路距所述线网工作台的垂直高度为200-500mm。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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