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一种梳状三电极气体传感器微热板
| 专利名称： | 一种梳状三电极气体传感器微热板 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种梳状三电极气体传感器微热板，是由中间的Si片层和前后侧分别生长的SiO2层组成，在前SiO2层的上表面通过磁控溅射、光刻、剥离及腐蚀技术制作成梳状电极，微热板加热电极设计成梳状结构，使得传感器工作区域因加热电流而产生的磁场基本能够相互抵消，加热电极是由梳状回路电阻和其两端的管脚Ⅰ和管脚Ⅱ构成，信号电极由加热电极与Pt直线电组及其管脚Ⅲ构成。气体传感器微热板加热电极设计成梳状结构，使微热板工作区域因加热电流而产生的环绕磁场能够相互消除，极大地减弱了磁场强度，明显的减小了磁场对测量信号的干扰，提高了传感器的性能。微热板结构简单、制作成本低廉。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 吉林;22 |
| 申请人： | 吉林大学 |
| 发明人： | 刘丽;曾祥桉;何越;李硕;李海英;刘震 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-01-21T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-11-12T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201920090949.3 |
| 公开号： | CN209624468U |
| 代理机构： | 长春吉大专利代理有限责任公司 |
| 代理人： | 王立文 |
| 分类号： | G01N27/416(2006.01);G;G01;G01N;G01N27 |
| 申请人地址： | 130012吉林省长春市前进大街2699号 |
| 主权项： | 1.一种梳状三电极气体传感器微热板，其特征在于，微热板基底是由中间Si片层(7)和前面生长的SiO2层(6)及后面生长的SiO2层(8)构成，在前SiO2层(6)的上面溅射有40nm厚的Ti粘附层和300nm厚的Pt层，通过光刻、腐蚀和剥离去掉多余的Pt制成Pt梳状加热电阻(2)，Pt梳状加热电阻(2)的两端分别设有管脚Ⅰ(1)和管脚Ⅱ(3),并在正面SiO2层(6)的右侧边缘制作Pt直线测量电极(5)，在Pt直线测量电极(5)的一端设有管脚Ⅲ(4)。 2.按照权利要求1所述的梳状三电极气体传感器微热板，其特征在于，微热板为长方体，长1.5mm，宽1.0mm，厚300μm。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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