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原文传递一种磁悬浮工件台和缺陷检测装置

专利名称：	一种磁悬浮工件台和缺陷检测装置
摘要：	本发明实施例提供了一种磁悬浮工件台和缺陷检测装置，该磁悬浮工件台的磁悬浮电机能够控制样品承载台悬浮于基座平台的悬浮面侧并控制样品承载台移动，具有简单的结构，且样品承载台能够具有自由的运动轨迹；同时，本发明实施的磁悬浮工件台中设置有光栅尺，且该光栅尺的光栅尺读数头阵列设置于基座平台的悬浮面，该光栅尺的标尺光栅设置于样品承载台的背面，从而能够在样品承载台运动过程中实时获取样品承载台的位置信息，防止样品承载台运动过程中造成位置丢失，需要重新检测与匹配位置关系，影响检测效率。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	上海御微半导体技术有限公司
发明人：	陈创创
专利状态：	有效
申请日期：	2019-08-08T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-12T00:00:00+0800
申请号：	CN201910730857.1
公开号：	CN110441233A
代理机构：	北京品源专利代理有限公司
代理人：	孟金喆
分类号：	G01N21/01(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	201203上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区芳春路400号1幢3层
主权项：	1.一种磁悬浮工件台，其特征在于，包括：基座平台、磁悬浮电机、光栅尺和至少一个样品承载台；所述磁悬浮电机包括电机定子和与至少一个电机动子；所述电机动子一一对应设置于所述样品承载台中；所述电机定子设置于所述基座平台中；所述电机动子与所述电机定子之间的作用力控制所述样品承载台悬浮于所述基座平台的悬浮面侧并控制所述样品承载台移动；所述光栅尺包括光栅尺读数头阵列和至少一个标尺光栅；所述光栅尺读数头阵列设置于所述基座平台的悬浮面；所述样品承载台包括承载面和背离所述承载面的背面；所述样品承载台的承载面用于承载和固定待测样品；所述标尺光栅一一对应设置于所述样品承载台的背面；所述光栅尺读数头阵列获取所述标尺光栅的干涉条纹变化参数，以确定所述样品承载台的位置。 2.根据权利要求1所述的磁悬浮工件台，其特征在于，所述标尺光栅在所述基座平台的正投影覆盖所述样品承载台在所述基座平台的正投影。 3.根据权利要求2所述的磁悬浮工件台，其特征在于，所述待测样品在所述样品承载台上的正投影位于所述样品承载台的承载面内。 4.根据权利要求1所述的磁悬浮工件台，其特征在于，所述光栅尺读数头阵列包括多个光栅尺读数头；所述标尺光栅在所述基座平台上的正投影至少覆盖四个所述光栅尺读数头。 5.根据权利要求1所述的磁悬浮工件台，其特征在于，还包括位置检测传感器；所述位置检测传感器设置于所述样品承载台的承载面；所述位置检测传感器用于对所述待测样品的位置进行检测。 6.一种缺陷检测装置，其特征在于，包括：控制模块、检测模块和权利要求1～5任一项所述的磁悬浮工件台；所述缺陷检测装置还包括至少一个检测工位，所述磁悬浮工件台中光栅尺的光栅尺读数头阵列覆盖所述检测工位；所述控制模块用于获取所述磁悬浮工件台中光栅尺确定的所述样品承载台的位置信息，并在所述样品承载台移动至所述检测工位时，控制所述检测模块对所述样品承载台承载的待测样品进行缺陷检测。 7.根据权利要求6所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述检测工位的数量大于等于2；所述检测模块包括与至少两个所述检测工位一一对应的至少两个检测单元；所述控制模块还用于控制所述磁悬浮工件台中磁悬浮电机的电机定子与电机动子之间的作用力，以使所述样品承载台在不同的检测工位做往返运动，并在所述样品承载台移动至与所述检测单元对应的检测工位时，控制所述检测单元对所述样品承载台承载的待测样品进行缺陷检测。 8.根据权利要求7所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述检测工位包括第一检测工位和第二检测工位；所述待测样品包括第一检测面和第二检测面；所述检测模块包括第一检测单元和第二检测单元；所述第一检测单元用于对移动至所述第一检测工位的所述样品承载台承载的待测样品的第一检测面进行缺陷检测；所述第二检测单元用于对移动至所述第二检测工位的所述样品承载台承载的待测样品的第二检测面进行缺陷检测。 9.根据权利要求8所述的缺陷检测装置，其特征在于，还包括：机械手；所述机械手用于将位于第一检测工位的样品承载台承载的待测样品的第一检测面移动至所述第一检测单元的检测区域内；和/或，所述机械手用于将位于第二检测工位的样品承载台承载的待测样品的第二检测面移动至所述第二检测单元的检测区域内。 10.根据权利要求6所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述检测工位的数量大于等于2；所述检测模块包括与至少两个所述检测工位一一对应的至少两个检测单元；所述磁悬浮工件台中样品承载台的数量大于等于2；所述控制模块还用于控制所述磁悬浮工件台中磁悬浮电机的所述电机定子与电子动子之间的作用力，以使不同的样品承载台运动至不同的检测工位，并控制所述检测单元对与所述检测单元对应的检测工位的样品承载台承载的待测样品进行缺陷检测。
所属类别：	发明专利