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原文传递使用光致发光成像检验发光半导体装置的方法和设备

专利名称：	使用光致发光成像检验发光半导体装置的方法和设备
摘要：	本申请实施例涉及一种使用光致发光成像检验发光半导体装置的方法和设备。所述半导体装置用光源照射，其中所述发光半导体的至少一区域用一个波段的光照射。所述波段的光λA+λB可在待检验的所述发光半导体中产生电子‑空穴对。通过物镜检测所述发光半导体发射的光λC的至少一部分。用对所发射光的波长敏感的相机的传感器捕获所述所发射光，其中所述所发射光的波长超过所述波段的宽度。将用所述传感器捕获的所述所发射光的数据传输到用于计算所述发光半导体的检验结果的计算机系统。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	美国;US
申请人：	科磊股份有限公司
发明人：	史蒂文·布伊肯斯;汤姆·马里富特
专利状态：	有效
申请日期：	2012-06-18T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-12T00:00:00+0800
申请号：	CN201910644437.1
公开号：	CN110441272A
代理机构：	北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人：	张世俊
分类号：	G01N21/64(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	美国加利福尼亚州
主权项：	1.一种用于检验衬底上的发光半导体装置的设备，其包括：宽频光源，其经配置以在半导体生产过程中，在一个或多个点处同时照明所述衬底的两个或更多个发光半导体装置，其中所述发光半导体装置中的至少一些响应于来自所述宽频光源的照明而发射由所述发光半导体装置的作用层中的电子空穴对的重组过程而引发的至少一些光；界定检测光束路径的物镜；具有定位于所述检测光束路径中的传感器的相机，其用于经由所述物镜接收来自所述发光半导体装置的光；其中所述传感器为所述两个或更多个发光半导体装置寄存灰度级值；第一滤光器，其设置于所述宽频光源的照明光束路径内，其中所述第一滤光器经配置以通过波段λA+λB；第二滤光器，其设置于检测路径内，其中所述第二滤光器经配置以阻挡经反射的入射光到达所述传感器，其中所述第二滤光器进一步经配置以通过由至少一波长的λC的所述发光半导体装置中的一个或多个发射的光；以及计算机系统，其通讯地耦合到所述传感器，其中所述计算机系统经配置以基于所述波长的λC的光确定所述半导体生产过程的一个或多个特性；其中借助所述第一滤光器和所述第二滤光器来实施波段的约束(λA+λB)<λC。 2.根据权利要求1所述的设备，其中所述光源是环形光源。 3.根据权利要求2所述的设备，其中所述环形光源具有多个LED。 4.根据权利要求1所述的设备，其中所述光源是同轴光源。 5.根据权利要求1所述的设备，其中所述光源是脉冲光源或连续光源中的至少一者。 6.根据权利要求1所述的设备，其进一步包括可在X/Y方向上移动的载物台，其中所述计算机系统控制所述载物台的移动，以使得经由所述相机的所述传感器中的所述物镜使所述衬底上的所述发光半导体装置的整个表面成像。 7.根据权利要求1所述的设备，其中所述两个或更多个发光半导体装置包括：两个或更多个LED裸片，其中由所述两个或更多个LED发射的光是通过在所述LED裸片的作用层中的照射所产生的电子空穴对的重组过程而引发。 8.一种用于检验衬底上的发光半导体装置的设备，其包括：环形光源，其经配置以在半导体生产过程中，在一个或多个点处同时照明所述衬底上的两个或更多个LED裸片；其中所述发光半导体装置中的至少一些响应于来自所述环形光源的照明而发射由所述发光半导体装置的作用层中的电子空穴对的重组过程而引发的至少一些光；界定检测光束路径的物镜；具有定位于所述检测光束路径中的传感器的相机，其用于经由所述物镜接收来自所述LED的光；第一滤光器，其设置于所述环形光源的照明光束路径内，其中所述第一滤光器经配置以通过波段λA+λB；第二滤光器，其设置于检测路径内，其中所述第二滤光器经配置以阻挡经反射的入射光到达所述传感器，其中所述第二滤光器进一步经配置以通过由至少一波长的λC的所述LED中的一个或多个发射的光；以及计算机系统，其通讯地耦合到所述传感器，其中所述计算机系统经配置以基于所述波长的λC的光确定所述半导体生产过程的一个或多个特性；其中借助所述第一滤光器和所述第二滤光器来实施波段的约束(λA+λB)<λC。 9.一种用于检验衬底上的发光半导体装置的设备，其包括：同轴光源，其经配置以在半导体生产过程中，在一个或多个点处同时照明所述衬底上的两个或更多个LED裸片；其中所述发光半导体装置中的至少一些响应与来自所述同轴光源的照明而发射由所述LED的作用层中的电子空穴对的重组过程而引发的至少一些光；界定照明光束路径的物镜；第一滤光器，其设置于所述同轴光源的照明光束路径内，其中所述第一滤光器经配置以通过波段λA+λB；具有定位于检测光束路径中的传感器的相机，其用于经由所述物镜和第二滤光器接收来自所述LED的光；其中所述传感器为所述两个或更多个LED裸片寄存灰度级值；其中所述第二滤光器经配置以阻挡经反射的入射光到达所述传感器，其中所述第二滤光器进一步经配置以通过由至少一波长的λC的所述LED中的一个或多个发射的光；计算机系统，其通讯地耦合到所述传感器，其中所述计算机系统经配置以基于所述波长的λC的光确定所述半导体生产过程的一个或多个特性；其中借助所述第一滤光器和所述第二滤光器来实施波段的约束(λA+λB)<λC。
所属类别：	发明专利