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原文传递真空进样机构

专利名称：	真空进样机构
摘要：	本实用新型公开了一种真空进样机构。该真空进样机构包括真空箱、气路密封件、预抽阀、回气阀以及分子泵；真空箱的顶部具有进样孔以及连通于进样孔的气路控制通道，气路控制通道开口于真空箱的顶部的外壁，密封盖用于打开或者关闭进样孔的外侧开口，真空箱内具有靶台，靶台能够密封或者打开进样孔的内侧开口，靶台与密封盖之间形成过渡腔；气路密封件连接在真空箱上用于密封气路控制通道，气路密封件上设有连通于气路控制通道的抽气孔以及回气孔，预抽阀连接在气路密封件上用于控制抽气孔的打开或者关闭，回气阀连接在气路密封件上以用于控制回气孔的打开或者关闭；分子泵连通于真空箱。该真空进样机构不易于漏气、不易于对样品造成损坏。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	广州禾信康源医疗科技有限公司
发明人：	朱星高;喻佳俊;代新;刘平;曾真
专利状态：	有效
申请日期：	2018-11-23T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-19T00:00:00+0800
申请号：	CN201821938398.3
公开号：	CN209656620U
代理机构：	广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人：	黄菲
分类号：	G01N27/64(2006.01);G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	510700 广东省广州市黄埔区开源大道11号科技企业加速器A3栋3层
主权项：	1.一种真空进样机构，其特征在于，包括真空箱、气路密封件、预抽阀以及回气阀；所述真空箱的顶部具有连通所述真空箱的真空腔的进样孔，所述真空箱还具有气路控制通道，所述气路控制通道的一端连通于所述进样孔，另一端开口于所述真空箱的顶部的外壁，所述真空箱的外部连接有用于打开或者关闭所述进样孔的外侧开口的密封盖，所述真空腔内具有靶台，所述靶台能够移动至所述进样孔的内侧开口处以密封所述进样孔的内侧开口；当所述靶台密封所述进样孔的内侧开口时，所述靶台与所述密封盖之间形成过渡腔；所述气路密封件位于所述真空箱的外部且连接在所述真空箱上以密封所述气路控制通道的外侧开口，所述气路密封件上设有抽气孔以及回气孔，所述抽气孔以及所述回气孔均通过所述气路控制通道与所述进样孔连通，所述预抽阀连接在所述气路密封件上以用于打开或者关闭所述抽气孔，所述回气阀连接在所述气路密封件上以用于打开或者关闭所述回气孔。 2.根据权利要求1所述的真空进样机构，其特征在于，所述真空进样机构还包括前级泵、分子泵以及抽气嘴；所述分子泵连通于真空箱以用于持续对所述真空箱抽真空，所述前级泵连通于分子泵，所述抽气嘴嵌设在所述抽气孔内且与所述抽气孔连通，所述前级泵还通过所述抽气嘴连通所述抽气孔。 3.根据权利要求2所述的真空进样机构，其特征在于，所述真空进样机构还包括真空管；所述前级泵通过所述真空管与所述抽气嘴连通。 4.根据权利要求1-3任意一项所述的真空进样机构，其特征在于，所述真空进样机构还包括回气嘴；所述回气嘴嵌设在所述回气孔内且与所述回气孔连通。 5.根据权利要求1-3任意一项所述的真空进样机构，其特征在于，所述抽气孔的一端与所述回气孔的一端均开口于所述气路密封件的外表面，所述抽气孔的另一端与所述回气孔的另一端均连通于所述气路控制通道的外侧开口。 6.根据权利要求5所述的真空进样机构，其特征在于，所述真空进样机构还包括密封圈；所述密封圈嵌设在所述气路控制通道的外侧开口内，所述密封圈用于密封所述气路密封件与所述真空箱之间的间隙。 7.根据权利要求1-3任意一项所述的真空进样机构，其特征在于，所述气路密封件上具有第一阀孔，所述第一阀孔的一端连通于所述气路控制通道，所述第一阀孔的另一端开口于所述气路密封件的外壁且该端的开口内嵌设有所述预抽阀，所述抽气孔连通于所述第一阀孔，当所述预抽阀朝向所述第一阀孔内移动时，所述预抽阀能够关闭所述抽气孔。 8.根据权利要求1-3任意一项所述的真空进样机构，其特征在于，所述气路密封件上具有第二阀孔，所述第二阀孔的一端连通于所述气路控制通道，所述第二阀孔的另一端开口于所述气路密封件的外壁且该端的开口内嵌设有所述回气阀，所述回气孔连通于所述第二阀孔，当所述回气阀朝向所述第二阀孔内移动时，所述回气阀能够关闭所述回气孔。 9.根据权利要求1-3任意一项所述的真空进样机构，其特征在于，所述预抽阀与所述回气阀均为直动式电磁阀。 10.根据权利要求1-3任意一项所述的真空进样机构，其特征在于，所述气路密封件与所述真空箱可拆卸式连接。
所属类别：	实用新型