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原文传递 一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置
专利名称: 一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置
摘要: 本实用新型公开一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置,包括激光干涉仪,所述激光干涉仪的一侧设有带倾斜面的检测支架,所述倾斜面上固设有反射镜,所述检测支架的上部固设有基片放置平台,所述基片放置平台上可拆卸设置有放置待测基片的基片放置夹具,所述倾斜面与水平面形成的锐角大小等于所述激光干涉仪发射的入射光线射向反射镜时形成的入射角大小,所述入射光线经过反射镜反射形成的反射光线与所述待测基片的中心轴线重合,所述基片放置夹具上与待测基片接触面均匀布设有若干用于承载待测基片的钢珠,利用待测基片的自身重力来放置固定基片,方便简洁,同时避免基片多处受力影响面型参数及镜面的光洁度,避免基片被刮花,且提高了检测效率。
专利类型: 实用新型
国家地区组织代码: 湖北;42
申请人: 武汉优光科技有限责任公司
发明人: 刘朝旭;贺鹏;肖志全
专利状态: 有效
申请日期: 2019-03-01T00:00:00+0800
发布日期: 2019-11-19T00:00:00+0800
申请号: CN201920266255.0
公开号: CN209656573U
代理机构: 南京纵横知识产权代理有限公司
代理人: 徐瑛;祝蓉蓉
分类号: G01N21/84(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址: 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新二路388号武汉光谷国际生物医药企业加速器1.2期19幢1-5层
主权项: 1.一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置,包括激光干涉仪,其特征在于,所述激光干涉仪的一侧设有带倾斜面的检测支架,所述倾斜面上固设有反射镜,所述检测支架的上部固设有基片放置平台,所述基片放置平台上可拆卸设置有放置待测基片的基片放置夹具,所述倾斜面与水平面形成的锐角大小等于所述激光干涉仪发射的入射光线射向反射镜时形成的入射角大小,所述入射光线经过反射镜反射形成的反射光线与所述待测基片的中心轴线重合,所述基片放置夹具上与待测基片接触面均匀布设有若干用于承载待测基片的钢珠。 2.如权利要求1所述的一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置,其特征在于,所述检测支架采用高强度铝合金材质制备。 3.如权利要求1所述的一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置,其特征在于,所述反射镜为金属膜或介质膜反射镜。 4.如权利要求1所述的一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置,其特征在于,所述检测支架的底部安装有俯仰和前后微调检测支架的微调平台。 5.如权利要求1所述的一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置,其特征在于,所述检测支架的底部、侧面和顶部均设有紧固的螺丝空位。 6.如权利要求1所述的一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置,其特征在于,所述入射角为45°。
所属类别: 实用新型
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