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原文传递 结晶度检测装置
专利名称: 结晶度检测装置
摘要: 本发明公开一种结晶度检测装置。本发明的结晶度检测装置包括:光源,沿第一方向布置于结晶化的基板的第一侧,并向所述结晶化的基板照射光;摄像元件,布置在相反于所述第一侧的与所述结晶化的基板的第二侧,并拍摄所述结晶化的基板的图像;偏光板,布置于所述结晶化的基板和摄像元件之间,并相对于所述结晶化的基板以第一角度或者第二角度布置;以及控制部,连接在所述摄像元件,测量透过分别以第一角度和第二角度布置时的偏光板的透光率差异。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 韩国;KR
申请人: 三星显示有限公司
发明人: 徐智勳;韩世光;粱炅镐;禹炫朱;郑锡宇
专利状态: 有效
申请日期: 2019-05-15T00:00:00+0800
发布日期: 2019-11-22T00:00:00+0800
申请号: CN201910402987.2
公开号: CN110487753A
代理机构: 北京铭硕知识产权代理有限公司
代理人: 李盛泉;刘灿强
分类号: G01N21/59(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址: 韩国京畿道龙仁市
主权项: 1.一种结晶度检测装置,其中,包括: 光源,沿第一方向布置于结晶化的基板的第一侧,并向所述结晶化的基板照射光; 摄像元件,沿第一方向布置在相反于所述第一侧的所述结晶化的基板的第二侧,并拍摄所述结晶化的基板的图像; 偏光板,布置于所述结晶化的基板和摄像元件之间,并相对于所述结晶化的基板以第一角度或者第二角度布置;以及 控制部,连接在所述摄像元件,测量透过分别以第一角度和第二角度布置时的偏光板的透光率差异。 2.如权利要求1所述的结晶度检测装置,其中, 所述光源包括: 绿色LED,具有480nm至530nm的波段。 3.如权利要求1所述的结晶度检测装置,其中, 所述第一角度对应于如下角度:所述偏光板相对于所述结晶化的基板以0°布置; 所述第二角度对应于如下角度:所述偏光板相对于所述结晶化的基板以90°布置。 4.如权利要求3所述的结晶度检测装置,其中, 所述偏光板可旋转地结合到所述摄像元件的端部。 5.如权利要求1所述的结晶度检测装置,其中, 布置有所述光源、偏光板、以及摄像元件的轴上还布置有选择性地使特定波段的光透过的带通滤波器。 6.如权利要求5所述的结晶度检测装置,其中, 所述带通滤波器包括: 滤波器,使505nm至515nm的波段的光透过。 7.如权利要求1所述的结晶度检测装置,其中, 还布置有将所述结晶化的基板沿第二方向移送的至少一个移送装置。 8.如权利要求7所述的结晶度检测装置,其中, 所述移送装置包括: 基板支架,支撑所述结晶化的基板; 移送部,将所述基板支架沿第二方向移送;以及 导向部,将所述结晶化的基板向第二方向引导。 9.如权利要求7所述的结晶度检测装置,其中, 所述第一方向是相对于所述结晶化的基板的垂直方向, 所述第二方向是相对于所述结晶化的基板的水平方向。 10.如权利要求9所述的结晶度检测装置,其中, 所述光源位于所述结晶化的基板的下侧, 所述摄像元件以及偏光板位于所述结晶化的基板的上侧。
所属类别: 发明专利
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