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原文传递物质检测元件

专利名称：	物质检测元件
摘要：	在支承基板(2)设有贯通孔(3)。板状的梁(4(4A、4B))具有压电元件，该梁(4)从贯通孔(3)的边缘朝向相对的边缘延伸而堵塞贯通孔(3)的局部，对供检测对象的构成物质附着的物质吸附膜进行支承，该梁(4)的振动频率因构成物质附着于物质吸附膜而发生变化。驱动电极(16)用于对压电元件施加电压而使梁(4)产生振动变形。检测电极(17)用于检测与梁(4)的振动频率相关的信息。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	第一精工株式会社
发明人：	绪方健治;黑木省吾
专利状态：	有效
申请日期：	2018-03-16T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-15T00:00:00+0800
申请号：	CN201880020078.6
公开号：	CN110462371A
代理机构：	北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	刘新宇;张会华
分类号：	G01N5/02(2006.01);G;G01;G01N;G01N5
申请人地址：	日本京都府
主权项：	1.一种物质检测元件，其中，该物质检测元件包括：支承基板，其设有贯通孔；板状的梁，其具有压电元件，该梁从所述贯通孔的边缘朝向相对的边缘延伸而堵塞所述贯通孔的局部，对供检测对象的物质附着的物质吸附膜进行支承，该梁的振动频率因所述物质附着于所述物质吸附膜而发生变化；驱动电极，其用于对所述压电元件施加电压而使所述梁产生振动变形；以及检测电极，其用于检测与所述梁的振动频率相关的信息。 2.根据权利要求1所述的物质检测元件，其中，所述梁在至少两个部位处固定于所述贯通孔的边缘。 3.根据权利要求2所述的物质检测元件，其中，所述梁由在固定于所述贯通孔的边缘的至少一端设有所述驱动电极的板状的第1梁和在固定于所述贯通孔的边缘的至少一端设有所述检测电极且与所述第1梁交叉的板状的第2梁形成。 4.根据权利要求3所述的物质检测元件，其中，在所述第1梁的、固定于贯通孔的边缘的两端设有所述驱动电极，在所述第2梁的、固定于贯通孔的边缘的两端设有所述检测电极，所述第1梁和所述第2梁在各自的中央处连结在一起。 5.根据权利要求4所述的物质检测元件，其中，将所述第1梁与所述第2梁的连结部分的宽度设定为宽于所述第1梁和所述第2梁中的除所述连结部分之外的其他部分的宽度。 6.根据权利要求5所述的物质检测元件，其中，将所述第1梁的宽度设定为宽于所述第2梁的宽度。 7.根据权利要求5或6所述的物质检测元件，其中，所述第1梁和所述第2梁正交。 8.根据权利要求5～7中任一项所述的物质检测元件，其中，在所述第2梁上形成有将形成于所述第2梁的两端的所述检测电极相互连接在一起的导线，将与一个所述检测电极导通的导线引出到所述第2梁的外部。 9.根据权利要求5～8中任一项所述的物质检测元件，其中，将与形成于所述第1梁的两端的所述驱动电极分别导通的导线引出到所述第1梁的外部，并汇集为1根。 10.根据权利要求1～9中任一项所述的物质检测元件，其中，在所述支承基板设有多个所述贯通孔，针对每个所述贯通孔均设有所述梁，所述梁各自支承的物质吸附膜的种类不同。
所属类别：	发明专利