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原文传递识别石墨盘高温烘烤结果的方法、装置、设备及存储介质

专利名称：	识别石墨盘高温烘烤结果的方法、装置、设备及存储介质
摘要：	本发明提供一种识别石墨盘高温烘烤结果的方法、装置、设备及存储介质。所述方法包括：通过与待测石墨盘相对位置固定的图像采集单元获取待测石墨盘的图像；获取图像上的石墨盘的待检测区域，对待检测区域的灰度值进行检测，以确定是否有白盘的区域。所述装置包括：图像采集单元，待检测区域获取单元，以及检测单元。所述设备及存储介质用于实现所述方法。该方法能够自动识别石墨盘高温烘烤的结果，效率高，对结果识别的精准度高，为生产高质量的外延片提供了保障。并且该方法快速高效；同时还可提供制式化数据并传递给MES生产系统，便于后续复查。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	福建;35
申请人：	厦门三安光电有限公司
发明人：	彭伟伦;田少波;付泽锋;杨全波;尤江伟
专利状态：	有效
申请日期：	2019-07-30T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-22T00:00:00+0800
申请号：	CN201910692172.2
公开号：	CN110487801A
代理机构：	北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	陈敏
分类号：	G01N21/88(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	361100 福建省厦门市同安区洪塘镇民安大道841-899号
主权项：	1.一种自动识别石墨盘高温烘烤结果的方法，其特征在于，包括步骤：通过与待测石墨盘相对位置固定的图像采集单元获取待测石墨盘的图像；获取图像上的石墨盘的待检测区域，对待检测区域的灰度值进行检测，以确定是否有白盘的区域。 2.根据权利要求1所述的自动识别石墨盘高温烘烤结果的方法，其特征在于，所述待检测区域包括所述待测石墨盘上的非槽位区域。 3.根据权利要求2所述的自动识别石墨盘高温烘烤结果的方法，其特征在于，通过屏蔽模板屏蔽所述待测石墨盘上的槽位区域以在所述待测石墨盘的图像中获取待检测区域。 4.根据权利要求3所述的自动识别石墨盘高温烘烤结果的方法，其特征在于，所述通过屏蔽模板屏蔽石墨盘上的槽位区域以在所述待测石墨盘的图像中获取待检测区域的步骤包括：将所述石墨盘的图像与所述屏蔽模板进行对比，屏蔽掉所述中间图像上的所述槽位区域，得到所述待检测区域。 5.根据权利要求4所述的自动识别石墨盘高温烘烤结果的方法，其特征在于，在通过屏蔽模板屏蔽石墨盘上的槽位区域之前，还包括以下步骤：测试待测石墨盘上所有的槽位区域的灰度值，并将所有的槽位区域的所述灰度值的平均灰度值作为基准灰度值；以所述基准灰度值为依据对所述待检测区域进行检测以获得检测区域的灰度值，将检测区域的灰度值与所述基准灰度值进行比对以确定是否有白盘的区域。 6.根据权利要求5所述的自动识别石墨盘高温烘烤结果的方法，其特征在于，在测试所述待测石墨盘上所有的槽位区域的灰度值的步骤之前还包括：对所述待测石墨盘的图像进行灰度化处理，得到所述待测石墨盘的灰度化图像；对所述待测石墨盘的所述灰度化图像进行边缘检测，得到中间图像。 7.根据权利要求1所述的自动识别石墨盘高温烘烤结果的方法，其特征在于，所述对所述待检测区域进行检测包括：获取所述待测石墨盘的灰度值动态阈值；以所述待测石墨盘的所述灰度值动态阈值为依据，检测所述待检测区域的灰度值，并将所述待检测区域的所述灰度值与所述待测石墨盘的所述灰度值阈值进行比较，以确定是否有白盘的区域。 8.根据权利要求7所述的自动识别石墨盘高温烘烤结果的方法，其特征在于，在以所述待测石墨盘的所述灰度值动态阈值为依据，检测所述待检测区域的灰度值，并将所述待检测区域的所述灰度值与所述待测石墨盘的所述灰度值动态阈值进行比较，以确定是否有白盘的区域步骤之前还包括：对所述待检测区域进行分区检测，以确定是否存在白盘区域以及所述白盘区域的位置。 9.根据权利要求7所述的自动识别石墨盘高温烘烤结果的方法，其特征在于，获取所述待测石墨盘的所述灰度值动态阈值的步骤包括：将所述基准灰度值上下浮动预定数值或预定百分比获取所述待测石墨盘的所述灰度值动态阈值。 10.根据权利要求1所述的自动识别石墨盘高温烘烤结果的方法，其特征在于，在所述确定是否有白盘的区域的步骤之后包括：输出检测结果。 11.根据权利要求10所述的自动识别石墨盘高温烘烤结果的方法，其特征在于，所述输出检测结果的步骤包括：输出待测石墨盘的石墨盘号、是否白盘、白盘面积以及白盘所处区位。 12.一种自动识别石墨盘高温烘烤结果的装置，其特征在于，包括：图像采集单元，所述图像采集单元与待测石墨盘的相对位置固定，所述图像采集单元配置用于获取待测石墨盘的图像；待检测区域获取单元，配置用于通过屏蔽模板屏蔽石墨盘上的槽位区域以在所述待测石墨盘的图像中获取待检测区域；检测单元，配置用于将待测石墨盘上所有的槽位区域的平均灰度值作为基准灰度值，并以所述基准灰度值为依据对所述待检测区域进行检测以确定是否有白盘的区域以及所述白盘区域的位置。 13.根据权利要求12所述的自动识别石墨盘高温烘烤结果的装置，其特征在于，还包括：输出单元，配置用于输出检测结果。 14.一种设备，其特征在于，所述设备包括：处理器；存储器，用于存储一个或多个程序，当所述一个或多个程序被所述处理器执行时，使得所述处理器执行如权利要求1-11中任一项所述的方法。 15.一种存储有计算机程序的计算机可读存储介质，其特征在于，该程序被处理器执行时实现如权利要求1-11中任一项所述的方法。
所属类别：	发明专利