专利名称: | 一种片式颗粒物传感器陶瓷芯片及其制造方法 |
摘要: | 一种片式颗粒物传感器陶瓷芯片及制造方法,该芯片包括陶瓷基板、第一电极、第二电极、第一绝缘玻璃层以及第二绝缘玻璃层,第一绝缘玻璃层形成在陶瓷基板的上表面上,第一电极和第二电极形成在第一绝缘玻璃层的上表面上,且第一电极和第二电极之间由连续的间隙分隔开,第一电极和第二电极的前段部分向外暴露,使得测量时颗粒物能够落在第一电极和第二电极的前段部分处的间隙上而改变第一电极和第二电极之间的电阻值,靠近测量信号输出端的第一电极和第二电极的后段部分由第二绝缘玻璃层覆盖,第一电极和/或第二电极还作为加热电极,用来通过加热以去除颗粒物。本发明能够提传感器芯片加热除去颗粒物的效率,并简化芯片结构及其制作。 |
专利类型: | 发明专利 |
国家地区组织代码: | 广东;44 |
申请人: | 深圳顺络电子股份有限公司 |
发明人: | 贾广平;郑智;李可;陈可;张宁宁 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2019-08-26T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-11-29T00:00:00+0800 |
申请号: | CN201910792413.0 |
公开号: | CN110514565A |
代理机构: | 深圳新创友知识产权代理有限公司 |
代理人: | 王震宇 |
分类号: | G01N15/06(2006.01);G;G01;G01N;G01N15 |
申请人地址: | 518110 广东省深圳市龙华区观澜街道大富苑工业区顺络观澜工业园 |
所属类别: | 发明专利 |