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一种二维材料低接触应力的转移方法
| 专利名称： | 一种二维材料低接触应力的转移方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种二维材料低接触应力的转移方法，该方法适用于硅片、蓝宝石和铜箔常见衬底，也适用于原位加热芯片、微栅、表面有微结构的衬底。该方法包括两种不同厚度、浓度的PVA（聚乙烯醇）薄膜制备，再利用这两种不同厚度、浓度的薄膜转移二维材料到目标衬底上。通过调整配比和旋涂工艺，将PVA溶液均匀覆盖在DVD、VCD光盘上干燥后形成了PVA薄膜，一次制备的PVA薄膜可供多次使用。然后通过PDMS及两种不同厚度、浓度的PVA薄膜的组合堆叠，利用PVA在不同温度下的粘性，通过转移平台达到转移二维材料到不同衬底的目的。本发明可用于光电探测器、传感器、柔性器件的制备，以及材料特性的表征。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 上海;31 |
| 申请人： | 华东师范大学 |
| 发明人： | 吴幸;骆晨 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-09-06T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-12-03T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910841948.2 |
| 公开号： | CN110530908A |
| 代理机构： | 上海蓝迪专利商标事务所(普通合伙) |
| 代理人： | 徐筱梅;张翔 |
| 分类号： | G01N23/20008(2018.01);G;G01;G01N;G01N23 |
| 申请人地址： | 200241 上海市闵行区东川路500号 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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