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原文传递一种划片机

专利名称：	一种划片机
摘要：	本发明涉及晶圆切割技术领域，尤其涉及一种划片机。具体地，划片机的刀具冷却干燥系统，包括：控制系统；液体管路，其上串接有液路控制阀；气体管路，其上串接有气路控制阀；以及配置在空气静压高速主轴的用于安装刀片的一端的刀侧喷头，刀侧喷头用于从刀片的轴向侧面向刀片喷吹；液体管路和气体管路均与刀侧喷头相连通，控制系统分别与液路控制阀和气路控制阀控制连接，并分别控制气路控制阀和液路控制阀的通断，以实现对刀侧喷头单独供气或供液。本发明的划片机利用了刀侧喷头对刀片进行吹气干燥，并不过多的增加主轴端部结构的复杂性，而且从刀片的轴向旁侧对刀片吹气，也能够提高刀片的干燥程度和干燥效率。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	河南;41
申请人：	郑州光力瑞弘电子科技有限公司
发明人：	赵彤宇;张志强;李振;司亚辉;孙伟
专利状态：	有效
申请日期：	2019-08-14T00:00:00+0800
发布日期：	2019-12-03T00:00:00+0800
申请号：	CN201910750185.0
公开号：	CN110524732A
代理机构：	郑州睿信知识产权代理有限公司
代理人：	王子龙
分类号：	B28D5/00(2006.01);B;B28;B28D;B28D5
申请人地址：	450000 河南省郑州市航空港区郑港六路与郑港二街交叉口东100米豫发蓝山公馆二楼229号
所属类别：	发明专利