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原文传递湿度感测器及其制造方法

专利名称：	湿度感测器及其制造方法
摘要：	本发明提供一种湿度感测器及其制造方法。湿度感测器包含一基板、一电极结构及一湿度感测结构。电极结构设置于基板上。湿度感测结构设置于电极结构上。湿度感测结构包含第一湿度感测层及第二湿度感测层。第一湿度感测层直接接触电极结构并具有一第一氧缺陷数。第二湿度感测层设置于第一湿度感测层上并具有一第二氧缺陷数，其中第二氧缺陷数多于第一氧缺陷数。本发明的湿度感测器具有良好的灵敏度，能够在制程中更精细地监控车间的环境湿度。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	四川;51
申请人：	业成科技(成都)有限公司
发明人：	涂煜杰
专利状态：	有效
申请日期：	2019-08-29T00:00:00+0800
发布日期：	2019-12-03T00:00:00+0800
申请号：	CN201910807063.0
公开号：	CN110530934A
代理机构：	成都希盛知识产权代理有限公司
代理人：	杨冬梅;张行知
分类号：	G01N27/12(2006.01);G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	611730 四川省成都市高新区西区合作路689号
所属类别：	发明专利