原文传递
采用FIB制备测试样品的方法以及测试样品
| 专利名称： | 采用FIB制备测试样品的方法以及测试样品 |
| 摘要： | 本发明涉及一种采用FIB制备测试样品的方法及一种测试样品，所述方法包括：提供具有一目标层的预处理样品，所述目标层具有相对的第一表面和第二表面；将所述预处理样品固定于样品台；沿朝向所述目标层第一表面的方向，采用离子束对所述预处理样品的一侧进行第一减薄，直至暴露出所述目标层的第一表面；固定一支撑件于所述样品台，所述支撑件与所述目标层的第一表面接触；沿朝向所述目标层第二表面的方向，采用离子束对所述预处理样品的另一侧进行第二减薄，暴露出所述目标层的第二表面，并继续将所述目标层减薄至预设厚度，所述支撑件在所述第二减薄过程中，对目标层进行支撑，避免目标层发生翘曲。上述方法可以避免目标层在减薄过程中产生形变。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 湖北;42 |
| 申请人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 发明人： | 刘婧;周阳;江佩 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-10-14T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-12-03T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910973223.9 |
| 公开号： | CN110530700A |
| 代理机构： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) |
| 代理人： | 董琳 |
| 分类号： | G01N1/28(2006.01);G;G01;G01N;G01N1 |
| 申请人地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
