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原文传递集成检测装置

专利名称：	集成检测装置
摘要：	本申请涉及集成检测装置。该检测装置形成在具有第一面、第二面和腔的半导体材料的本体中。检测区域形成在腔中，并且气泵集成在本体中并且被配置成迫使气体朝向检测区域运动。光学型检测系统或者阿尔法粒子检测器至少部分地布置在检测区域中。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	意大利;IT
申请人：	意法半导体股份有限公司
发明人：	S·洛伊;A·帕加尼
专利状态：	有效
申请日期：	2015-08-31T00:00:00+0800
发布日期：	2019-12-06T00:00:00+0800
申请号：	CN201910809333.1
公开号：	CN110542628A
代理机构：	北京市金杜律师事务所
代理人：	王茂华;董典红
分类号：	G01N15/02(2006.01);G;G01;G01N;G01N15
申请人地址：	意大利阿格拉布里安扎
所属类别：	发明专利