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一种基于四探针法的气敏性能测试装置
| 专利名称： | 一种基于四探针法的气敏性能测试装置 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于四探针法的气敏性能测试装置，包括测试模块以及数据采集处理模块，测试模块为气敏性能装置的核心部件，根据需求提供不同的测试环境，其中测试模块包含的探针组采用四探针法设计，实现了宽阻值范围(100μΩ～120MΩ)的电阻式气体传感器的气敏性能表征，数据采集处理模块用于采集测试样品的电阻数据，并进行处理和显示。本发明的气敏测试装置结构简单，可以随测试要求进行结构变化，对电阻低于100Ω的气敏元件精确测试具备很大优势，能够达成传感器商用化所需要的重复性及稳定性测试，适用性强。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 四川;51 |
| 申请人： | 中国工程物理研究院材料研究所 |
| 发明人： | 任广坤;邓立;文明;胡俊;邓舜杰;吕超;蔡金光;陈俊光;王泽骥 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-09-02T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-12-13T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910846744.8 |
| 公开号： | CN110568024A |
| 代理机构： | 四川力久律师事务所 |
| 代理人： | 韩洋 |
| 分类号： | G01N27/12(2006.01);G;G01;G01N;G01N27 |
| 申请人地址： | 610200 四川省成都市双流区银河路596号 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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