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激光薄膜内耗仪及材料内耗的检测方法
| 专利名称： | 激光薄膜内耗仪及材料内耗的检测方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种激光薄膜内耗仪，包括激光位移传感器、底板、固定在所述底板上的下罩体以及与所述下罩体相配合的上罩体，所述底板、下罩体和上罩体之间形成腔体，所述腔体内设置有试样固定组件、激发电极、加热器以及屏蔽罩，所述下罩体上开设有与所述激光位移传感器对应的光学窗口，所述加热器位于所述屏蔽罩内，所述屏蔽罩用于罩住所述试样以及激发电极，所述屏蔽罩对应所述激光位移传感器开设有贯通孔，所述激发电极朝向所述贯通孔，所述试样位于所述贯通孔与激发电极之间。本发明的激光薄膜内耗仪，具有测量精度高、工作频率宽、非接触测量获得材料缺陷信息等优点，非常适合进行辐照缺陷的表征。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 江苏;32 |
| 申请人： | 苏州热工研究院有限公司 |
| 发明人： | 刘向兵;安英辉;段德洪;李远飞;薛飞;王春辉;徐超亮;钱王洁;贾文清;李心刚;池志远 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-09-26T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-12-13T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910914773.3 |
| 公开号： | CN110567877A |
| 代理机构： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 |
| 代理人： | 汪青 |
| 分类号： | G01N21/17(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 215004 江苏省苏州市西环路1788号 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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