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原文传递 气缸装置
专利名称: 气缸装置
摘要: 本气缸装置(10)包括:在其上加工有两个气体进/出口(40a,40b)的箱体(20)、基板(12)、固定于基板(12)上的活塞(54)、气缸(18)和顶板(22)。该气缸装置(10)还有第一、第二、第三缸室(46a,46b,46c)和第一气体通道(42)、第二气体通道(44)、第三气体通道(47)、第四气体通道(48)。三个缸室形成于气缸(18)内并处于基板(12)、活塞(54)和顶板(22)之间,通过第一和第二气体通道(42,44),一个气体进/出口(40a)与第一和第三缸室(46a,46c)相通,通过
专利类型: 发明专利
申请人: SMC株式会社
发明人: 泽田隆幸
专利状态: 有效
申请日期: 1997-10-08T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN97119358.4
公开号: CN1178761
代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人: 郑修哲
分类号: B65G47/66
申请人地址: 日本东京都
所属类别: 发明专利
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