专利名称: | 气缸装置 |
摘要: | 本气缸装置(10)包括:在其上加工有两个气体进/出口(40a,40b)的箱体(20)、基板(12)、固定于基板(12)上的活塞(54)、气缸(18)和顶板(22)。该气缸装置(10)还有第一、第二、第三缸室(46a,46b,46c)和第一气体通道(42)、第二气体通道(44)、第三气体通道(47)、第四气体通道(48)。三个缸室形成于气缸(18)内并处于基板(12)、活塞(54)和顶板(22)之间,通过第一和第二气体通道(42,44),一个气体进/出口(40a)与第一和第三缸室(46a,46c)相通,通过 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | SMC株式会社 |
发明人: | 泽田隆幸 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 1997-10-08T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN97119358.4 |
公开号: | CN1178761 |
代理机构: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人: | 郑修哲 |
分类号: | B65G47/66 |
申请人地址: | 日本东京都 |
所属类别: | 发明专利 |