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一种氧化钇洁净间空气中痕量元素的检测方法
| 专利名称： | 一种氧化钇洁净间空气中痕量元素的检测方法 |
| 摘要： | 本发明涉及一种氧化钇洁净间空气中痕量元素的检测方法，检测方法主要包括以下步骤：1)配制0.5％wt的硝酸；2)将0.5％wt硝酸倒入量程为30ml的小烧杯里15ml；3)将装有0.5％wt硝酸的小烧杯放在氧化钇洁净间里；4)ICP‑MS调谐；5)ICP‑MS测标准液；6)ICP‑MS测标样；7)ICP‑MS测试样品。采用该方法可以检测到氧化钇洁净间需要控制的痕量元素在规定的范围内是否达标，能否达到测试氧化钇图层零件测试的环境，同时通过此方法可以很好的管控氧化钇洁净间的环境，避免环境对氧化钇涂层零件表面的痕量元素含量造成影响。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 辽宁;21 |
| 申请人： | 沈阳富创精密设备有限公司 |
| 发明人： | 丁振 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-07-25T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-12-13T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910678692.8 |
| 公开号： | CN110567943A |
| 代理机构： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) |
| 代理人： | 俞鲁江 |
| 分类号： | G01N21/73(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 110000 辽宁省沈阳市东陵区飞云路18甲-1号 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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