专利名称: | 模块集成电路处理机的转动组件 |
摘要: | 本发明的转动组件包括一种可以将载运组件的方向转动90度并供给至加热腔室的内部处用的装载侧转动组件,及可以将收装在检测部处的、与模块型集成电路呈垂直状态相插接的载运组件转动90度、并传送至卸载位置处的卸载侧转动组件。该装载侧转动组件是由驱动组件、传送部件和可夹持住载运组件或解除这种夹持用的夹持组件,及可以将传送部件推入至转动板的内部或由该内部处拉出的推入、拉出用组件构成;该卸载侧转动组件是由转动板、驱动组件和夹持组件构成。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 未来产业株式会社 |
发明人: | 李相秀; 金种源; 吴泳鹤; 李玩求; 金熙洙; 李东春 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 1999-11-29T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN99125215.2 |
公开号: | CN1255744 |
代理机构: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 |
代理人: | 寿宁; 顾红霞 |
分类号: | H01L21/66 |
申请人地址: | 韩国忠清南道 |
所属类别: | 发明专利 |