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原文传递模块集成电路处理机的转动组件

专利名称：	模块集成电路处理机的转动组件
摘要：	本发明的转动组件包括一种可以将载运组件的方向转动９０度并供给至加热腔室的内部处用的装载侧转动组件，及可以将收装在检测部处的、与模块型集成电路呈垂直状态相插接的载运组件转动９０度、并传送至卸载位置处的卸载侧转动组件。该装载侧转动组件是由驱动组件、传送部件和可夹持住载运组件或解除这种夹持用的夹持组件，及可以将传送部件推入至转动板的内部或由该内部处拉出的推入、拉出用组件构成；该卸载侧转动组件是由转动板、驱动组件和夹持组件构成。
专利类型：	发明专利
申请人：	未来产业株式会社
发明人：	李相秀; 金种源; 吴泳鹤; 李玩求; 金熙洙; 李东春
专利状态：	有效
申请日期：	1999-11-29T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN99125215.2
公开号：	CN1255744
代理机构：	中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人：	寿宁; 顾红霞
分类号：	H01L21/66
申请人地址：	韩国忠清南道
所属类别：	发明专利