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原文传递批次供给系统和批次供给方法

专利名称：	批次供给系统和批次供给方法
摘要：	一种批次供给系统，包括多个处理单元，一个供给单元，多个计数器，和一个供给控制器。各处理单元输出批次供给请求，并对提供的批次进行预定处理。供给单元将存储于其中的批次提供给发出处理请求的单元。各计数器对所提供的单元的产品批次进行计数。当各计数器的计数值达到的预设值时，供给控制器将事先存储的测量批次提供给发出处理请求的单元，并对各计数器的计数值进行初始化。同时本发明还公开了一种批次供给方法。
专利类型：	发明专利
申请人：	日本电气株式会社
发明人：	近藤浩
专利状态：	有效
申请日期：	2000-05-19T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN00107573.X
公开号：	CN1274948
代理机构：	中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人：	方挺
分类号：	H01L21/00
申请人地址：	日本东京
所属类别：	发明专利