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原文传递用于生产半导体产品的设备

专利名称：	用于生产半导体产品的设备
摘要：	本发明涉及一种用于生产半导体产品、特别是用于加工晶片的设备，它在至少一个净化室（２）中具有多个生产单元（１）和一个用于传送半导体产品的传送系统，其中所述生产单元（１）分别具有至少一个用来装卸半导体产品的装卸站（６）。所述传送系统具有一个输送系统，该输送系统在净化室（２）中设置在操作人员的步行高度上方的装卸站（６）的高度处。
专利类型：	发明专利
申请人：	西门子公司
发明人：	J·埃尔格
专利状态：	有效
申请日期：	2000-05-19T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN00120086.0
公开号：	CN1277138
代理机构：	中国专利代理(香港)有限公司
代理人：	张志醒
分类号：	B65G49/07
申请人地址：	联邦德国慕尼黑
所属类别：	发明专利