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用于生产半导体装置和平板显示器的设备
| 专利名称： | 用于生产半导体装置和平板显示器的设备 |
| 摘要： | 根据本发明，生产半导体装置和平板显示设备的设备结合/连接具有处理功能的模块，用于在相同类型的实体分布设备中形成半导体装置和平板显示器，处理功能如清洁－沉积－扩散－离子掺杂－再耦合－抛光－光刻－蚀刻－除灰－剥离－检查－退火，由此防止由于实体分布的重复导致生产率损失。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 株式会社D.M.S |
| 发明人： | 韩占烈 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2001-06-29T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN01124802.5 |
| 公开号： | CN1342998 |
| 代理机构： | 北京市柳沈律师事务所 |
| 代理人： | 肖鹂 |
| 分类号： | H01L21/00 |
| 申请人地址： | 韩国京畿道 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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