专利名称: | 用于生产半导体装置和平板显示器的设备 |
摘要: | 根据本发明,生产半导体装置和平板显示设备的设备结合/连接具有处理功能的模块,用于在相同类型的实体分布设备中形成半导体装置和平板显示器,处理功能如清洁-沉积-扩散-离子掺杂-再耦合-抛光-光刻-蚀刻-除灰-剥离-检查-退火,由此防止由于实体分布的重复导致生产率损失。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 株式会社D.M.S |
发明人: | 韩占烈 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2001-06-29T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN01124802.5 |
公开号: | CN1342998 |
代理机构: | 北京市柳沈律师事务所 |
代理人: | 肖鹂 |
分类号: | H01L21/00 |
申请人地址: | 韩国京畿道 |
所属类别: | 发明专利 |