专利名称: | 基板的卸载装置及卸载方法 |
摘要: | 一种基板的卸载装置,其包括:一操作台,用以排列放置前一设备中完成作业的具有不同大小的基板;一搬运机器人,用以抬起排列地置于上述操作台上的基板,与基板的大小无关,把基板装载至卡匣或下一设备的一定位置;及一设备控制器,用以控制基板在操作台上的排列,使其与大小无关,能够装载至卡匣或下一设备的一定位置,及用以控制上述搬运机器人的动作。本发明还涉及基板的卸载方法。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 三星电子株式会社 |
发明人: | 边圣∴; 安钟范; 崔成奎 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 1999-12-16T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN99121055.7 |
公开号: | CN1257034 |
代理机构: | 柳沈知识产权律师事务所 |
代理人: | 陶凤波 |
分类号: | B65G49/07 |
申请人地址: | 韩国京畿道 |
所属类别: | 发明专利 |