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一种基于IGZO纳米颗粒的ppb级别硫化氢气体传感器及其制备方法
| 专利名称： | 一种基于IGZO纳米颗粒的ppb级别硫化氢气体传感器及其制备方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于IGZO纳米颗粒的ppb级别硫化氢气体传感器及其制备方法，传感器包括气敏涂层、陶瓷管、金属电极Ⅰ、金属电极Ⅱ、电阻丝，所述金属电极Ⅰ和金属电极Ⅱ平行环绕在所述陶瓷管两端，所述金属电极Ⅰ伸出引脚Ⅰ和引脚Ⅴ，所述金属电极Ⅱ伸出引脚Ⅱ和引脚Ⅵ，所述气敏涂层均匀涂覆在陶瓷管外表面，所述电阻丝螺旋穿过所述陶瓷管，形成引脚Ⅲ和引脚Ⅳ，所述气敏涂层由IGZO纳米颗粒制成，能够探测的硫化氢气体最低浓度较低，且响应和恢复时间较短。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 四川;51 |
| 申请人： | 西南交通大学 |
| 发明人： | 曹宝宝;张凡;谭家宁;李硕 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-09-27T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-12-17T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910927270.X |
| 公开号： | CN110579509A |
| 代理机构： | 成都东恒知盛知识产权代理事务所(特殊普通合伙) |
| 代理人： | 何健雄;廖祥文 |
| 分类号： | G01N27/00(2006.01);G;G01;G01N;G01N27 |
| 申请人地址： | 610000 四川省成都市二环路北一段 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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