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拾取工具
| 专利名称： | 拾取工具 |
| 摘要： | 一种拾取工具，有一个抽吸装置，用于把半导体芯片安装到基片上，所述的抽吸装置是一个用尺寸稳定的材料制成的板(4)，其一个表面(5)有固化的胶合剂制成的结构(6)。所述板(4)的材料是例如铝、碳纤维复合材料或者尺寸稳定的塑料。适用于结构(6)的材料例如是以聚四氟乙烯为填料的胶合剂。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | ESEC贸易公司 |
| 发明人： | 罗内·约瑟夫·乌尔里奇 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2001-07-03T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN01117572.9 |
| 公开号： | CN1330399 |
| 代理机构： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
| 代理人： | 冯谱 |
| 分类号： | H01L21/50 |
| 申请人地址： | 瑞士卡姆 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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