详情

原文传递拾取单元

专利名称：	拾取单元
摘要：	一种拾取单元，在从母基板拾取单位基板时，能够以不会与边料区域之间产生摩擦等的方式进行取出。其具备：单元主体，以能够上下移动的方式配置在载置于工作台的母基板的上方；真空吸附盘，形成于单元主体，吸附单位基板的上表面；抽气源，经由气体管道与真空吸附盘的抽吸口连通；以及按压部件，能够升降，在真空吸附盘的周边保持于单元主体，用于按压边料区域的上表面。按压部件构成为：在单元主体下降而利用真空吸附盘吸附单位基板时，朝向边料区域下移而按压边料区域，并且在单元主体进入上升过程而使被吸附的单位基板从边料区域分离后，与边料区域分离而与单元主体一同上升。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	三星钻石工业股份有限公司
发明人：	西尾仁孝;高松生芳;上野勉
专利状态：	有效
申请日期：	2018-12-12T00:00:00+0800
发布日期：	2019-06-25T00:00:00+0800
申请号：	CN201811516035.5
公开号：	CN109927183A
代理机构：	北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人：	玉昌峰;吴孟秋
分类号：	B28D1/22(2006.01);B;B28;B28D;B28D1
申请人地址：	日本大阪
主权项：	1.一种拾取单元，从母基板取出以在周边残留有边料区域的状态被彼此正交的全切割的断裂线划分的单位基板，并将所取出的单位基板输送至下一工序，其中，所述拾取单元包括：单元主体，以能够上下移动的方式配置在载置于工作台的母基板的上方；真空吸附盘，形成于所述单元主体，吸附所述单位基板的上表面；抽气源，经由气体管道与所述真空吸附盘的抽吸口连通；以及按压部件，能够升降，在所述真空吸附盘的周边保持于所述单元主体，用于按压所述边料区域的上表面，所述按压部件形成为：在所述单元主体下降而利用所述真空吸附盘吸附所述单位基板时，所述按压部件朝向所述边料区域下移而按压所述边料区域，并且在所述单元主体进入上升过程而使被吸附的所述单位基板从所述边料区域分离之后，所述按压部件与所述边料区域分离而与单元主体一同上升。 2.根据权利要求1所述的拾取单元，其中，所述真空吸附盘设置有多个，以使得能够同时吸附形成于所述母基板的多个单位基板，所述按压部件配置有多个，以使得能够按压与被吸附的单位基板的周边相邻的边料区域的表面部分。 3.根据权利要求1或2所述的拾取单元，其中，所述单元主体由多个单位部件构成，所述多个单位部件在同一平面上排列配置并以装拆自如的方式被共用的支承轴保持。 4.根据权利要求1至3中任一项所述的拾取单元，其中，所述按压部件由气缸形成，并形成为所述气缸的活塞前端与所述边料区域的表面接触。 5.根据权利要求4所述的拾取单元，其中，所述气缸形成为：与所述真空吸附盘连通于相同的抽气源，在对所述真空吸附盘作用有抽吸气体时，同时驱动所述气缸的活塞和所述真空吸附盘。 6.根据权利要求5所述的拾取单元，其中，所述气缸的活塞形成为：在安装于气缸内的弹簧的作用下处于始终后退，当在抽吸气体的作用下所述气缸内变为负压时，克服所述弹簧的压力而朝向突出方向前进。 7.根据权利要求4所述的拾取单元，其中，所述气缸形成为：经由管道与压缩气体体供给源连接，在对所述真空吸附盘作用有压缩气体时，压缩气体驱动所述气缸的活塞。
所属类别：	发明专利