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原文传递芯片元件的搬送保持装置

专利名称：	芯片元件的搬送保持装置
摘要：	一种在使芯片元件移动时能防止歪倒或位置偏移、并在搬送中防止钩挂在顶板面的凹凸部的芯片元件的搬送保持装置。在转台(2)上形成收容芯片元件(W)的收容孔(2a)并形成吸引保持该芯片元件(W)的吸引通路(15)，在吸引保持在收容孔(2a)内的状态下搬送所述芯片元件(W)，所述吸引通路(15)具有在所述芯片元件(W)的搬送时将该芯片元件(W)定位保持在搬送位置(X)的第1吸引通路(15a)和在将所述芯片元件(W)从所述搬送位置(X)上顶时将该芯片元件(W)定位保持在测定位置(Y)的第2吸引通路(15b)。
专利类型：	发明专利
申请人：	株式会社村田制作所
发明人：	仓部美希;吉本靖
专利状态：	有效
申请日期：	2003-07-22T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN03133257.9
公开号：	CN1476071
代理机构：	上海专利商标事务所
代理人：	谢喜堂
分类号：	H01L21/68
申请人地址：	日本京都府长冈京市
所属类别：	发明专利