专利名称: | 十字标记搬运方法、十字标记搬运装置以及曝光装置 |
摘要: | 一种十字标记搬运方法与装置,用以稳定地保持圆形EB曝光用十字标记,并且安全地将其搬运,十字标记搬运装置的前端具有U字型钩(1),设置在U字型钩(1)的臂部(5)间的侧壁(3a)上的段差部(9)以及各臂部(5)的前端上,形成吸引部(11),吸引部(11)包括环状突部(13)与凹部(15),十字标记(R)载置于突部(13)上,吸引部(11)吸引保持十字标记(R)外周缘的约略相等分离的三个点(支撑点),借此,可以稳定地保持十字标记(R)并且安全地搬运,使其不会脱落。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 尼康株式会社;仙台尼康株式会社 |
发明人: | 菊地秀和;山本明宏 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2003-06-11T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN03142810.X |
公开号: | CN1473748 |
代理机构: | 北京集佳知识产权代理有限公司 |
代理人: | 王学强 |
分类号: | B65G49/07 |
申请人地址: | 日本东京都 |
所属类别: | 发明专利 |