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十字标记搬运方法、十字标记搬运装置以及曝光装置
| 专利名称： | 十字标记搬运方法、十字标记搬运装置以及曝光装置 |
| 摘要： | 一种十字标记搬运方法与装置，用以稳定地保持圆形EB曝光用十字标记，并且安全地将其搬运，十字标记搬运装置的前端具有U字型钩(1)，设置在U字型钩(1)的臂部(5)间的侧壁(3a)上的段差部(9)以及各臂部(5)的前端上，形成吸引部(11)，吸引部(11)包括环状突部(13)与凹部(15)，十字标记(R)载置于突部(13)上，吸引部(11)吸引保持十字标记(R)外周缘的约略相等分离的三个点(支撑点)，借此，可以稳定地保持十字标记(R)并且安全地搬运，使其不会脱落。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 尼康株式会社;仙台尼康株式会社 |
| 发明人： | 菊地秀和;山本明宏 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2003-06-11T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN03142810.X |
| 公开号： | CN1473748 |
| 代理机构： | 北京集佳知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 王学强 |
| 分类号： | B65G49/07 |
| 申请人地址： | 日本东京都 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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