专利名称: | 元件运送装置及元件运送方法 |
摘要: | 本发明涉及元件运送装置及元件运送方法,所述装置具有:分割薄型基板、制成长方形工件(3),并整列运送该工件(3)的运送路径(20);使前述工件分离、运送的运送台(30);具有作为收容前述工件的多个收容部的料斗的收容台(32);设在前述运送台(30)上、将由前述运送路径(20)运送的工件(3)转载到前述运送台(30)上运送的同时,转载到前述收容台(32)的收容部上的转载机构(31);以及设在前述运送台(30)上、由传感器(49)判断运送途中的工件好坏,把不良工件收容在不良工件收容部(50)内的不良工件收容部件 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 东京威尔斯股份有限公司 |
发明人: | 平川文广 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2002-11-27T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN02153628.7 |
公开号: | CN1487562 |
代理机构: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 |
代理人: | 沙捷 |
分类号: | H01L21/00 |
申请人地址: | 日本东京都 |
所属类别: | 发明专利 |