专利名称: | 金刚石多线电火花放电切削方法及线切割装置 |
摘要: | 本发明公开了金刚石多线电火花放电切削线切割装置,包括切割装置主体,所述切割装置主体的中部一侧设置有一号切割辊,所述一号切割辊的一侧设置有二号切割辊,所述一号切割辊的前端设置有一号主动主轴,所述二号切割辊的前端设置有二号主动主轴,所述一号切割辊的后端外表面设置有一号从动主轴。本发明将固定磨料金刚石线锯与电火花线切割进行结合,进而产生金刚石线锯电火花复合加工,进一步提高金刚石多线切割光伏硅片的加工效率且降低加工成本,针对金刚线多线切割加工半导体硅片的加工表面微裂纹等加工质量问题,将在金刚线多线切割的基础上加入电火花放电加工实现加工表面的质量提升。 |
专利类型: | 发明专利 |
国家地区组织代码: | 山东;37 |
申请人: | 青岛高测科技股份有限公司 |
发明人: | 仇健;葛任鹏 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2019-10-12T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-12-20T00:00:00+0800 |
申请号: | CN201910969518.9 |
公开号: | CN110587840A |
代理机构: | 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) |
代理人: | 郭智 |
分类号: | B28D5/04(2006.01);B;B28;B28D;B28D5 |
申请人地址: | 266000 山东省青岛市高新技术产业开发区火炬支路66号 |
所属类别: | 发明专利 |