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原文传递金刚石多线切割装置和切割方法

专利名称：	金刚石多线切割装置和切割方法
摘要：	本发明提出了金刚石多线切割装置和切割方法，其中切割装置包括：固定板、升降机构、摇摆机构、压力侦测机构，其中，升降机构包括升降气缸和升降平台，升降气缸设置在升降平台上并与固定板的底壁相连；摇摆机构包括固定部、轴销和旋转部，固定部与旋转部通过轴销相对可旋转地连接，固定部与升降平台的底壁相连，旋转部的底端适于安装待切割晶棒；压力侦测机构包括压力传感装置，所述压力传感装置设置在所述摇摆机构和所述升降机构之间，所述摇摆机构在运行过程中会感知线弓的压力，所述压力传感装置会得到所述线弓压力值。该装置通过增设摇摆机构和压力自动补偿而获得稳定的线弓值，进而提高良率、改善翘曲、TTV和纳米形貌。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	徐州鑫晶半导体科技有限公司
发明人：	郑加镇;卢健平
专利状态：	有效
申请日期：	2019-07-24T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-25T00:00:00+0800
申请号：	CN201910671681.7
公开号：	CN110370477A
代理机构：	北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	肖阳
分类号：	B28D5/00(2006.01);B;B28;B28D;B28D5
申请人地址：	221004 江苏省徐州市徐州经济开发区杨山路66号
主权项：	1.一种金刚石多线切割装置，其特征在于，包括：固定板，升降机构，所述升降机构包括升降气缸和升降平台，所述升降气缸设置在所述升降平台上并与所述固定板的底壁相连；摇摆机构，所述摇摆机构包括固定部、轴销和旋转部，所述固定部与所述旋转部通过轴销相对可旋转地连接，所述固定部与所述升降平台的底壁相连，所述旋转部的底端适于安装待切割晶棒；压力侦测机构，包括压力传感装置，所述压力传感装置设置在所述摇摆机构和所述升降机构之间，所述压力传感装置会收集所述金刚石多线切割装置在运行过程中感知的线弓的压力值。 2.根据权利要求1所述的金刚石多线切割装置，其特征在于，所述压力侦测机构包括：控制处理装置，所述控制处理装置与所述压力传感装置相连，所述控制处理装置与所述升降机构和/或所述摇摆机构相连，所述控制处理装置对所述压力传感装置反馈的压力值进行分析处理并通过调节所述升降机构或/和所述摇摆机构进行压力自动补偿。 3.根据权利要求2所述的金刚石多线切割装置，其特征在于，所述线弓的稳定线弓值为1-3mm。 4.根据权利要求1所述的金刚石多线切割装置，其特征在于，所述升降机构还包括限位进给柱，所述限位进给柱设置在所述升降平台与所述固定板之间，并与所述升降气缸平行。 5.一种利用权利要求1-4任一项所述的金刚石多线切割装置切割硅棒的方法，其特征在于，控制所述旋转部的摇摆角度其中：θx为在切割位置x处的角度，θM为最大切割位置处的角度，R为晶棒直径，x为进给方向上的切割长度。 6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述旋转部在最大切割面积的摇摆角度为0-12度。 7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述旋转部在最大切割面积的摇摆角度为6～12度。
所属类别：	发明专利