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被处理体的搬运系统、无人搬运车系统、无人搬运车及被处理体的搬运方法
| 专利名称： | 被处理体的搬运系统、无人搬运车系统、无人搬运车及被处理体的搬运方法 |
| 摘要： | 形成于一片晶片上的器件数量激增，完成一片晶片检查需要很长的时间，而且，如果以批为单位进行晶片的检查，处理完的晶片要存放在探测器内，直至结束所有的晶片的处理，这样，批单位的晶片传递到下一工序的时间会延误，结果很难缩短TAT(Turn Around Time)，而且探测器很难灵活运行。本发明的搬运系统E具有：主计算机(1)、在该主计算机(1)的管理下的多个探测器(2)、按照各自的要求，把晶片W一片一片地向探测器(2)传递的多个RGV(4)、以及与主计算机协作使用这些RGV(4)的搬运运行装置(5)。搬运运行装 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 发明人： | 饭岛俊彦;秋山收司;保坂广树;中尾敬史 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2002-12-27T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN02808979.0 |
| 公开号： | CN1505836 |
| 代理机构： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 龙淳 |
| 分类号： | H01L21/68 |
| 申请人地址： | 日本东京都 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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