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原文传递移载装置、搬送装置及移载方法

专利名称：	移载装置、搬送装置及移载方法
摘要：	一种移载装置、搬送装置以及移载方法。移载装置(1)设置在具有支承搬送对象物(Wf)的支承机构(51)，沿着对搬送对象物(Wf)进行处理的处理装置(23)、(24)、(26)、(27)设置、规定支承机构(51)移动方向的导向机构(53)，和沿着导向机构(53)移动支承机构(51)的移动机构(55)的多个搬送装置(20)、(120)之间，具有使一方的搬送装置(20)的移动机构(55)与另一方的搬送装置(120)的移动机构(55)同步的同步控制机构(41)，和从一方的搬送装置(20)的支承机构(51)接受搬送对
专利类型：	发明专利
申请人：	精工爱普生株式会社
发明人：	藤村尚志;田中秀治;小林义武;青木康次
专利状态：	有效
申请日期：	2004-03-03T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200410007853.4
公开号：	CN1531051
代理机构：	中科专利商标代理有限责任公司
代理人：	李香兰
分类号：	H01L21/68
申请人地址：	日本东京
所属类别：	发明专利