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原文传递一种光学检测装置及其方法

专利名称：	一种光学检测装置及其方法
摘要：	本发明公开了一种光学检测装置及其方法，其中，装置包括工件台；载物台，位于工件台上，用于承载待测物；光源单元，位于载物台的上方，且光源单元至少包括光源方向向量不共面的第一光源、第二光源和第三光源；相机，位于光源单元的上方，且相机的焦面与待测物待测表面之间的距离可调节；控制单元，分别与光源单元和相机电连接，用于控制光源单元输出不同照明条件；并在不同照明条件下，控制相机分别获取待测物表面图像以及缺陷检测图像，并根据待测物表面图像以及缺陷检测图像获取待测物的不同高度表面清晰图像，从而可实现无需重新调焦就可检测待测物不同高度表面的特征。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	上海御微半导体技术有限公司
发明人：	杨朝兴
专利状态：	有效
申请日期：	2019-09-23T00:00:00+0800
发布日期：	2019-12-24T00:00:00+0800
申请号：	CN201910898538.1
公开号：	CN110609039A
代理机构：	北京品源专利代理有限公司
代理人：	孟金喆
分类号：	G01N21/88(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区芳春路400号1幢3层
所属类别：	发明专利