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被处理体的搬送装置和具有搬送装置的处理系统
| 专利名称： | 被处理体的搬送装置和具有搬送装置的处理系统 |
| 摘要： | 构成处理系统的一部分的主搬送装置具有间隔成真空环境的主搬送室(44)的壳体(40)。在壳体(40)上形成用于在搬送室(44)和外部之间移送被处理体(W)的多个移送口(52A、52B)。在搬送室(44)内水平设置的导轨(48)上，滑动自由地安装移动体(58)。具有沿着导轨(48)移动移动体(58)的线性马达机构(54、62)。保持被处理体(W)的保持体(64)通过支持部件(66)相对移动体(58)升降自由地连接。在与壳体(40)的移送口(52A、52B)对应的位置，设置相对移动体(58)升降支持部件(66) |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 发明人： | 石泽繁;佐伯弘明 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2002-12-25T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN02826172.0 |
| 公开号： | CN1608318 |
| 代理机构： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 龙淳 |
| 分类号： | H01L21/68 |
| 申请人地址： | 日本东京都 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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