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原文传递被处理对象的搬送装置

专利名称：	被处理对象的搬送装置
摘要：	处理系统(100)包括：搬送室(150)、与搬送室相连的多个室(140、 160)、附设在搬送室内的搬送装置(180)、控制搬送装置的控制部 (200)。搬送装置包括能够滑动动作的基台(182)、能够旋转动作的搬送臂(185A、185B)。控制部具备存储部(290)和动作控制器(280)。存储部存储表示滑动动作以及旋转动作的复合动作的多个动作类型的类型模式信息(292)、以及与动作类型分别对应的时间动作轨道的轨道模式信息(294)。动作控制器从类型模式信息以及轨道模式信息中检索必要
专利类型：	发明专利
申请人：	东京毅力科创株式会社
发明人：	町山弥;石泽繁;小泉浩;广木勤;近藤圭祐
专利状态：	有效
申请日期：	2006-06-20T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200680000424.1
公开号：	CN101006574
代理机构：	北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人：	龙淳
分类号：	H01L21/677(2006.01)I
申请人地址：	日本东京
所属类别：	发明专利