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制造对象物的搬送装置和制造对象物的搬送方法
| 专利名称： | 制造对象物的搬送装置和制造对象物的搬送方法 |
| 摘要： | 一种制造对象物的搬送装置和制造对象物的搬送方法。该搬送装置为将容纳有在多个工序间搬送的多个制造对象物的载体(15)放入相应的工序中后，向单片搬送传送带(18)转移载体(15)内的多个制造对象物的制造对象物的搬送装置(16)，其中单片搬送传送带为通过单片搬送向配置在工序内的制造对象物的制造装置搬送制造对象物(W)的装置，其特征在于，具有制造对象物移送装置(100)，该装置配置在工序内，用于在将容纳有在工序间搬送的多个制造对象物的载体(15)放入相应的工序中后，进行制造对象物的移送。由此，提供一种能够将容纳于 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 精工爱普生株式会社 |
| 发明人： | 田中秀治;小林义武;藤村尚志;青木康次 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2004-03-30T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200410031824.1 |
| 公开号： | CN1534728 |
| 代理机构： | 中科专利商标代理有限责任公司 |
| 代理人： | 汪惠民 |
| 分类号： | H01L21/02 |
| 申请人地址： | 日本东京 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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