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制造对象物的制造装置及制造对象物的制造方法
| 专利名称： | 制造对象物的制造装置及制造对象物的制造方法 |
| 摘要： | 一种制造对象物的制造装置及制造对象物的制造方法。制造对象物的制造装置(10)用于搬送制造对象物、并由多个处理装置对制造对象物进行处理，设置有向处理装置(23)、(123)搬送制造对象物的多个搬送装置(20)、(120)，配置在多个搬送装置(20)、(120)之间、对由各装置(20)、(120)搬送的制造对象物进行共同处理的共同处理装置(200)，以及配置在多个搬送装置(20)、(120)之间、在共同处理装置(200)与各搬送装置(20)、(120)之间交接制造对象物的制造对象物交接部(100)、(103) |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 精工爱普生株式会社 |
| 发明人： | 福原圭司;青木康次;小林义武;藤村尚志 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2004-03-03T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200410007850.0 |
| 公开号： | CN1531050 |
| 代理机构： | 中科专利商标代理有限责任公司 |
| 代理人： | 李香兰 |
| 分类号： | H01L21/68 |
| 申请人地址： | 日本东京 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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