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检查装置、检查方法及检查对象物的制造方法
| 专利名称： | 检查装置、检查方法及检查对象物的制造方法 |
| 摘要： | 本发明的检查装置包括：射线源，其向检查对象物照射能量射线；检测部，其检测从检查对象物中通过的能量射线；位移机构，其使检查对象物及所述射线源中的至少一方相对于另一方相对位移，设定检查对象物与射线源的相对位置；内部图像生成部，其基于由检测部检测到的能量射线的检测量分布，生成检查对象物的内部图像；以及控制部，其基于由检测部检测到的能量射线的检测量分布，对位移机构进行控制。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 日本;JP |
| 申请人： | 株式会社尼康 |
| 发明人： | 大林岳史;在家正行;道本隆裕 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2017-04-26T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-12-13T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201780090043.5 |
| 公开号： | CN110573864A |
| 代理机构： | 北京市金杜律师事务所 |
| 代理人： | 闫剑平 |
| 分类号： | G01N23/04(2018.01);G;G01;G01N;G01N23 |
| 申请人地址： | 日本东京都 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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