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原文传递 检查方法、检查·通知方法、包括该检查方法的制造方法、检查装置及制造装置
专利名称: 检查方法、检查·通知方法、包括该检查方法的制造方法、检查装置及制造装置
摘要: 一种对具有图案的板状的被检查物进行检查的检查方法,具有:对所述被检查物的被检查面进行摄影以获得图像的摄影步骤;针对摄影步骤中获得的原图像,通过设定阈值生成将层次数值化为2值或3值后的图像的数值化步骤;及使用所述数值化步骤中生成的图像,对所述被检查物进行判定的判定步骤。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 日本;JP
申请人: 吉野石膏株式会社
发明人: 安江健造
专利状态: 有效
申请号: CN201780041407.0
公开号: CN109477803A
代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人: 李洋;苏琳琳
分类号: G01N21/892(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21
申请人地址: 日本东京都
主权项: 1.一种对具有图案的板状的被检查物进行检查的检查方法,其特征在于,具有:对所述被检查物的被检查面进行摄影以获得图像的摄影步骤;针对摄影步骤所获得的原图像,通过设定阈值生成将层次数值化为2值或3值后的图像的数值化步骤;及使用所述数值化步骤中生成的图像对所述被检查物进行判定的判定步骤。
所属类别: 发明专利
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