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原文传递表面检查装置、表面检查方法以及制造显示设备的方法

专利名称：	表面检查装置、表面检查方法以及制造显示设备的方法
摘要：	本申请涉及表面检查装置、表面检查方法以及制造显示设备的方法，其中该表面检查装置包括：第一相机，所述第一相机拍摄待检查物体的图像；半透半反镜，所述半透半反镜设置在位于第一光轴上的所述第一相机的上方；光源，所述光源与位于第二光轴上的半透半反镜相邻设置，所述第二光轴与所述第一光轴相交。所述光源辐射光，并且所述光经所述半透半反镜被导向所述待检查物体。所述表面检查装置还包括反射器，所述反射器设置在位于所述第一光轴上的所述半透半反镜的上方。所述反射器包括朝向所述待检查物体的反射凹面。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	韩国;KR
申请人：	三星电子株式会社
发明人：	徐元国;尹贵玹;李学骏
专利状态：	有效
申请日期：	2018-09-07T00:00:00+0800
发布日期：	2019-05-14T00:00:00+0800
申请号：	CN201811044729.3
公开号：	CN109752381A
代理机构：	北京市立方律师事务所
代理人：	李娜
分类号：	G01N21/88(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	韩国京畿道
主权项：	1.一种表面检查装置，包括：第一相机，所述第一相机拍摄待检查物体的图像；半透半反镜，所述半透半反镜设置在位于第一光轴上的所述第一相机的上方；光源，所述光源与位于第二光轴上的半透半反镜相邻设置，所述第二光轴与所述第一光轴相交，其中，所述光源辐射光，并且所述光经所述半透半反镜被导向所述待检查物体；以及反射器，所述反射器设置在位于所述第一光轴上的所述半透半反镜的上方，其中，所述反射器包括朝向所述待检查物体的反射凹面。 2.根据权利要求1所述的表面检查装置，其中，从所述反射器的所述反射凹面到所述待检查物体的表面的距离与所述反射器的曲率半径大致相同。 3.根据权利要求1所述的表面检查装置，其中，所述反射器具有反射柱面。 4.根据权利要求3所述的表面检查装置，其中，所述反射器包括设置在所述第一光轴上的开口。 5.根据权利要求4所述的表面检查装置，其中，所述反射器被所述开口分为两个部分，并且所述两个部分具有彼此大致相同的曲率半径和彼此大致相同的曲率中心。 6.根据权利要求1所述的表面检查装置，其中，所述反射器包括具有反射柱面的第一区域，以及设置在所述第一区域的对端并且具有反射球面的第二区域。 7.根据权利要求6所述的表面检查装置，其中，所述反射器包括设置在所述第一光轴上的开口。 8.根据权利要求1所述的表面检查装置，其中，所述反射器设置在所述第一相机的上方，所述待检查物体设置在所述反射器的上方，并且所述待检查物体的表面具有向下凸的曲面。 9.根据权利要求1所述的表面检查装置，其中，所述光源的亮度可根据所述待检查物体的透射率来调节。 10.根据权利要求1所述的表面检查装置，还包括：第二相机，所述第二相机获得与所述待检查物体的表面的位置有关的信息；支撑架，所述支撑架支撑所述第一相机、所述半透半反镜、所述光源和所述反射器；驱动单元，所述驱动单元移动所述支撑架；以及控制器，所述控制器控制所述驱动单元。 11.根据权利要求10所述的表面检查装置，其中，所述驱动单元包括：垂直驱动部件，所述垂直驱动部件调节所述支撑架的垂直位置以将所述待检查物体的所述表面基本上定位在所述反射器的曲率中心；以及水平驱动部件，所述水平驱动部件使所述支撑架在水平方向上移动。 12.根据权利要求1所述的表面检查装置，还包括：第二相机，所述第二相机获得与所述待检查物体的表面的位置有关的信息；支撑架，所述支撑架支撑所述第一相机、所述半透半反镜、所述光源和所述反射器；垂直驱动部件，所述垂直驱动部件在垂直方向上移动所述反射器使得所述待检查物体的所述表面基本上定位在所述反射器的曲率中心；以及水平驱动部件，所述水平驱动部件使所述支撑架沿所述待检查物体的所述表面在水平方向上移动；以及控制器，所述控制器控制所述垂直驱动部件和所述水平驱动部件。 13.一种表面检查装置，包括：具有开口的反射器；设置在所述反射器的下方的光源，其中所述光源在水平方向上辐射光；设置在所述光源的一侧的半透半反镜，其中，所述半透半反镜将由所述光源辐射的所述光的一部分反射到垂直方向上，使得所述光的所述一部分通过所述开口入射到设置在所述反射器的上方的待检查物体的表面；以及设置在所述反射器的下方的第一相机，其中，所述第一相机接收从所述待检查物体的表面反射的光，其中，所述待检查物体、所述开口和所述半透半反镜设置在所述第一相机的光轴上。 14.根据权利要求13所述的表面检查装置，其中，所述反射器具有朝向所述待检查物体的反射凹面，并且从所述反射器的所述反射凹面到所述待检查物体的表面的距离与所述反射器的曲率半径大致相同。 15.根据权利要求14所述的表面检查装置，其中，所述反射器具有反射柱面。 16.根据权利要求15所述的表面检查装置，其中，所述反射器被所述开口分为两个部分，并且所述两个部分具有彼此大致相同的曲率半径和彼此大致相同的曲率中心。 17.根据权利要求14所述的表面检查装置，其中，所述反射器包括具有反射柱面的第一区域，以及设置在所述第一区域的对端并且具有反射球面的第二区域。 18.根据权利要求13所述的表面检查装置，还包括：第二相机，所述第二相机获得与所述待检查物体的所述表面的位置有关的信息的第二相机；支撑架，所述支撑架支撑所述第一相机、所述半透半反镜、所述光源和所述反射器；驱动单元，所述驱动单元移动所述支撑架；以及控制器，所述控制器控制所述驱动单元。 19.根据权利要求18所述的表面检查装置，其中，所述驱动单元包括：垂直驱动部件，所述垂直驱动部件调节所述支撑架的垂直位置以将所述待检查物体的所述表面基本上定位在所述反射器的曲率中心；以及水平驱动部件，所述水平驱动部件在水平方向上移动所述支撑架。 20.根据权利要求13所述的表面检查装置，还包括：第二相机，所述第二相机获得与所述待检查物体的所述表面的位置有关的信息；支撑架，所述支撑架支撑所述第一相机、所述半透半反镜、所述光源和所述反射器；垂直驱动部件，所述垂直驱动部件在垂直方向上移动所述反射器使得所述待检查物体的所述表面基本上定位在所述反射器的曲率中心；以及水平驱动部件，所述水平驱动部件使所述支撑架沿着所述待检查物体的所述表面在水平方向上移动；以及控制器，所述控制器控制所述垂直驱动部件和所述水平驱动部件。 21.一种表面检查方法，包括：将具有曲面的待检查物体安装在表面检查装置的反射器的上方，其中，所述反射器包括朝向所述待检查物体的反射凹面；向所述待检查物体的所述曲面上辐射光，其中，所述光由所述表面检查装置的光源辐射，并且所述光经所述表面检查装置的半透半反镜被导向所述待检查物体的所述曲面，其中，所述半透半反镜和所述反射器设置在所述表面检查装置的第一相机的光轴上；获得与所述待检查物体的所述曲面的位置有关的信息；以及使用所述表面检查装置的所述第一相机拍摄所述待检查物体的所述曲面的图像。 22.根据权利要求21所述的表面检查方法，其中，获得与所述待检查物体的所述曲面的位置有关的信息包括：使用所述表面检查装置的第二相机获得指示所述待检查物体的所述曲面的垂直位置的垂直位置信息。 23.根据权利要求21所述的表面检查方法，其中，拍摄所述待检查物体的所述曲面的图像包括：使用与所述待检查物体的所述曲面的位置有关的信息调整所述反射器的垂直位置，使得所述待检查物体的所述曲面基本上定位在所述反射器的曲率中心，其中，由所述光源辐射的所述光穿过所述反射器的开口，以入射到所述待检查物体的所述曲面上；由所述第一相机接收从所述待检查物体的所述曲面首次反射的光、从所述反射器的所述反射凹面二次反射的光以及从所述待检查物体的所述曲面三次反射的光；以及在水平方向上移动所述表面检查装置的支撑架，其中，所述支撑架支撑所述第一相机、所述半透半反镜、所述光源和所述反射器。 24.根据权利要求23所述的表面检查方法，其中，调整所述反射器的所述垂直位置包括调整所述支撑架的垂直位置。 25.一种制造显示设备的方法，包括：形成所述显示设备，其中，所述显示设备包括基板；以及检查所述基板，其中，检查所述基板包括：将所述基板安装在表面检查装置的反射器的上方，其中，所述反射器包括朝向所述基板的反射凹面；向所述基板辐射光，其中，所述光由所述表面检查装置的光源辐射，并且所述光经所述表面检查装置的半透半反镜被导向所述基板，其中，所述半透半反镜和所述反射器设置在所述表面检查装置的相机的光轴上；获得与所述基板的位置有关的信息；以及使用所述表面检查装置的所述相机拍摄所述基板的图像。
所属类别：	发明专利