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原文传递表面特性检查方法和表面特性检查装置

专利名称：	表面特性检查方法和表面特性检查装置
摘要：	本发明提供一种表面特性检查方法，能够通过使输出电压增大来高精度地检查实施了表面处理的处理材料的表面处理状态，该表面处理是通过渗碳淬火、氮化处理等热处理、喷丸处理来进行的表面处理。设定表面特性检查装置(1)的交流桥电路(20)的电阻(R1)与电阻(R2)的电阻比的电阻比设定工序包括以下工序：在基准检测器(22)和检查检测器(23)配置未进行表面处理的基准检体(S)，一边改变分配比(γ)一边测定第一设定用输出信号；在基准检测器(22)配置基准检体(S)，在检查检测器(23)配置实施了表面处理的设定用检体，一边改变电阻比一边测定第二设定用输出信号；针对各对应的电阻比计算第一设定用输出信号与第二设定用输出信号的差值；以及基于使差值的绝对值最大的电阻比来设定电阻比。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	新东工业株式会社
发明人：	牧野良保
专利状态：	有效
申请日期：	2017-06-01T00:00:00+0800
发布日期：	2019-05-21T00:00:00+0800
申请号：	CN201780061843.4
公开号：	CN109791126A
代理机构：	北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	刘新宇
分类号：	G01N27/72(2006.01);G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	日本爱知县
主权项：	1.一种表面特性检查方法，用于检查被实施了表面处理的被检体的表面特性，所述表面特性检查方法的特征在于，包括预备表面特性检查装置的表面特性检查装置准备工序，所述表面特性检查装置具备：交流桥电路；交流电源，其向所述交流桥电路供给交流电力；以及评价装置，其基于来自所述交流桥电路的输出信号来评价被检体的表面特性，其中，所述交流桥电路具备：可变电阻，其以第一电阻与第二电阻的电阻比可变的方式构成；检查检测器，其具有能够激励交流磁性的线圈，且形成为能够将所述线圈以在被检体激励出涡电流的方式配置；以及基准检测器，将与被检体相同构造的基准检体配置于所述基准检测器，所述基准检测器检测成为与来自所述检查检测器的输出进行比较的基准的基准状态，其中，所述第一电阻、所述第二电阻、所述基准检测器以及所述检查检测器构成桥电路，所述表面特性检查方法还包括以下工序：电阻比设定工序，设定所述第一电阻与所述第二电阻的电阻比；检查信号获取工序，向所述交流桥电路供给交流电力，获取在所述检查检测器正在检测所述被检体的电磁特性并且所述基准检测器正在检测基准状态的状态下的、来自所述交流桥电路的输出信号；以及评价工序，将在所述检查信号获取工序中获取到的输出信号与规定的阈值进行比较，来评价所述被检体的表面特性，其中，所述电阻比设定工序包括以下工序：第一信号获取工序，在所述基准检测器和所述检查检测器分别配置未进行表面处理的基准检体，针对多个电阻比获取第一设定用输出信号；第二信号获取工序，在所述基准检测器配置未进行表面处理的基准检体，在所述检查检测器配置实施了表面处理的设定用检体，针对多个电阻比获取第二设定用输出信号；以及电阻比决定工序，基于在所述第一信号获取工序中获取到的第一设定用输出信号和在所述第二信号获取工序中获取到的第二设定用输出信号，来决定在所述检查信号获取工序中设定的电阻比。 2.根据权利要求1所述的表面特性检查方法，其特征在于，在所述电阻比决定工序中，基于针对相同的电阻比的所述第一设定用输出信号与所述第二设定用输出信号之间的关系，来决定在所述检查信号获取工序中设定的电阻比。 3.根据权利要求2所述的表面特性检查方法，其特征在于，在所述电阻比决定工序中，将针对相同的电阻比的所述第一设定用输出信号与所述第二设定用输出信号之差的绝对值最大的电阻比决定为在所述检查信号获取工序中设定的电阻比。 4.根据权利要求1～3中的任一项所述的表面特性检查方法，其特征在于，所述检查检测器的所述线圈形成为沿着所述被检体的被实施了表面处理的倾斜面的形态，以在所述倾斜面激励出涡电流。 5.根据权利要求1～3中的任一项所述的表面特性检查方法，其特征在于，所述检查检测器的所述线圈被卷绕成进入所述被检体的被实施了表面处理的凹面的凸形状，以在所述凹面的表面激励出涡电流。 6.根据权利要求1～5中的任一项所述的表面特性检查方法，其特征在于，所述检查检测器的所述线圈卷绕于具有倾斜面的筒管的倾斜面。 7.根据权利要求1～6中的任一项所述的表面特性检查方法，其特征在于，所述表面特性检查装置还具备以相向的方式配置的第一检查检测器和第二检查检测器，所述表面特性检查装置对被检体的与各个检查检测器相向的检查区域进行检查。 8.根据权利要求7所述的表面特性检查方法，其特征在于，所述表面特性检查装置还具备搬送被检体的搬送单元，所述被检体在其两侧具有被实施了表面处理的凹面和凸面，所述第一检查检测器具有以下线圈：所述线圈被卷绕成进入所述被检体的所述凹面的凸形状或接受所述被检体的所述凸面的凹形状，以在所述凹面和所述凸面中的某一方激励出涡电流，所述第二检查检测器具有以下线圈：所述线圈被卷绕成进入所述被检体的所述凹面的凸形状或接受所述被检体的所述凸面的凹形状，以在所述凹面和所述凸面的另一方激励出涡电流，所述检查信号获取工序包括以下工序：第一搬送工序，将被检体搬送至所述第一检查检测器与所述第二检查检测器之间；第一信号获取工序，将被检体配置于所述第一检查检测器的线圈，在被检体的所述凹面或所述凸面激励涡电流，获取来自所述交流桥电路的输出信号；第二搬送工序，将被检体从所述第一检查检测器搬送至所述第二检查检测器；以及第二信号获取工序，将被检体配置于所述第二检查检测器的线圈，在被检体的所述凹面或所述凸面激励涡电流，获取来自所述交流桥电路的输出信号。 9.一种表面特性检查装置，检查被实施了表面处理的被检体的表面特性，所述表面特性检查装置的特征在于，具备：交流桥电路；交流电源，其向所述交流桥电路供给交流电力；以及评价装置，其基于来自所述交流桥电路的输出信号来评价被检体的表面特性，其中，所述交流桥电路具备：可变电阻，其以第一电阻与第二电阻的电阻比可变的方式构成；检查检测器，其具有能够激励交流磁性的线圈，且形成为能够将所述线圈以在被检体激励出涡电流的方式配置；以及基准检测器，将与被检体相同构造的基准检体配置于所述基准检测器，所述基准检测器检测成为与来自所述检查检测器的输出进行比较的基准的基准状态，其中，所述第一电阻、所述第二电阻、所述基准检测器以及所述检查检测器构成桥电路，在所述检查检测器中，所述线圈以沿着被检体所具有的倾斜面的方式卷绕于倾斜面。 10.根据权利要求9所述的表面特性检查装置，其特征在于，所述检查检测器的所述线圈被卷绕成进入所述被检体的被实施了表面处理的凹面的凸形状，以在所述凹面的表面激励出涡电流。 11.根据权利要求10所述的表面特性检查装置，其特征在于，所述检查检测器的所述线圈具备具有凸型壁面的筒管和覆盖该凸型壁面的外周面的凸型的罩，所述线圈的导线卷绕在所述凸型壁面的外周面上，所述凸型的罩覆盖被卷绕的所述导线，并且被插入到所述被检体的被实施了表面处理的凹面以在所述被检体的凹面激励出涡电流。 12.根据权利要求9所述的表面特性检查装置，其特征在于，所述检查检测器的所述线圈被卷绕成接受所述被检体的被实施了表面处理的凸面的凹形状，以在所述凸面的表面激励出涡电流。 13.根据权利要求12所述的表面特性检查装置，其特征在于，所述检查检测器的所述线圈具备具有凸型壁面的筒管，所述线圈的导线卷绕在所述凸型壁面的外周面上，所述筒管的内周面接受所述被检体的被实施了表面处理的凸面，以在所述被检体的凸面激励出涡电流。 14.根据权利要求9所述的表面特性检查装置，其特征在于，所述检查检测器由以相向的方式配置的第一检查检测器和第二检查检测器构成，所述被检体在其两侧具有被实施了表面处理的凹面和凸面，所述第一检查检测器具有以下线圈：所述线圈被卷绕成进入所述被检体的所述凹面的凸形状，以在所述凹面激励出涡电流，所述第二检查检测器具有以下线圈：所述线圈被卷绕成接受所述被检体的所述凸面的凹形状，以在所述凸面激励出涡电流。 15.根据权利要求14所述的表面特性检查装置，其特征在于，所述表面特性检查装置还具备搬送被检体的搬送单元，所述搬送单元构成为：将被检体配置于所述第一检查检测器和所述第二检查检测器中的某一方，在对第一检查区域进行检查之后，将被检体搬送到所述第一检查检测器和所述第二检查检测器中的另一方，对与所述第一检查区域相反的一侧的第二检查区域进行检查。
所属类别：	发明专利