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原文传递检查方法及检查装置

专利名称：	检查方法及检查装置
摘要：	对具有绕对称轴旋转对称的外周部的工件高精度地进行检查，并且缩短该检查的周期时间。各工件的检查中，基于执行第1工序(在预对准位置将工件保持于保持台，并使工件绕旋转轴旋转的同时对工件进行拍摄)所取得的图像，进行保持台处的工件的位置校正，以消除工件的对称轴相对于旋转轴的偏心，然后，在基于执行第5工序(在检查位置使该工件绕旋转轴旋转的同时对其进行拍摄)所取得的图像而进行工件的检查的工件检查中，使对连续的两个工件中的前一个工件执行的第5工序和对连续的两个工件中的后一个工件执行的第1工序并行地执行。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	株式会社斯库林集团
发明人：	吉田巧
专利状态：	有效
申请日期：	2017-11-09T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-09T00:00:00+0800
申请号：	CN201780081046.2
公开号：	CN110114659A
代理机构：	北京市金杜律师事务所
代理人：	陈伟;王娟娟
分类号：	G01N21/95(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	日本京都府
主权项：	1.一种检查方法，对具有绕对称轴旋转对称的外周部的多个工件逐一连续地进行检查，其特征在于，执行如下工序来进行各工件的检查：在预对准位置将工件保持于保持台，在使所述工件绕旋转轴旋转的同时对所述工件进行拍摄的第1工序；在所述第1工序之后，使保持着所述工件的所述保持台向与所述预对准位置不同的检查位置移动的第2工序；基于在所述第1工序中拍摄到的所述工件的图像而检测所述工件的对称轴相对于所述旋转轴的偏心的第3工序；进行所述保持台处的所述工件的位置校正，以消除在所述第3工序中检测到的所述偏心的第4工序；在所述检查位置使接受了所述位置校正后的工件绕所述旋转轴旋转的同时对接受了所述位置校正后的工件进行拍摄的第5工序；和基于在所述第5工序中拍摄到的图像进行所述工件的检查的第6工序，使对连续的两个工件中的前一个工件执行的所述第5工序和对连续的两个工件中的后一个工件执行的所述第1工序并行地执行。 2.如权利要求1所述的检查方法，其特征在于，使所述第4工序与所述第2工序并行地执行。 3.如权利要求2所述的检查方法，其特征在于，使所述第3工序与所述第2工序并行地执行。 4.如权利要求1～3中任一项所述的检查方法，其特征在于，各工件的检查还包括在所述第5工序之后使保持着所述工件的所述保持台从所述检查位置移动的第7工序，使对所述前一个工件执行的所述第7工序和对所述后一个工件执行的所述第2工序同时执行。 5.如权利要求4所述的检查方法，其特征在于，使所述第6工序与所述第7工序并行地执行。 6.一种检查装置，其特征在于，包括：保持台，其保持具有绕对称轴旋转对称的外周部的工件并使所述工件绕旋转轴旋转；对准用拍摄部，其在预对准位置对保持于所述保持台的工件进行拍摄；检查用拍摄部，其在与所述预对准位置不同的检查位置对保持于所述保持台的工件进行拍摄；工件位置校正部，其基于在使所述对称轴相对于所述旋转轴发生了偏心的工件绕所述旋转轴旋转的同时由所述对准用拍摄部对其进行拍摄所取得的图像，进行发生了所述偏心的工件的位置校正；和工件检查部，其基于在使接受了所述位置校正后的工件绕所述旋转轴旋转的同时由所述检查用拍摄部对其进行拍摄所取得的图像，进行接受了所述位置校正后的工件的检查，所述保持台设置有多个，多个所述保持台中的一个保持台被定位于所述预对准位置，并且其余保持台中的一个保持台被定位于所述检查位置，由此并行地进行利用所述对准用拍摄部对发生了所述偏心的工件进行的拍摄和利用所述检查用拍摄部对接受了所述位置校正后的工件进行的拍摄。
所属类别：	发明专利