详情

原文传递检查装置及检查方法

专利名称：	检查装置及检查方法
摘要：	本发明提供一种检查装置及检查方法，其中检查装置对检查面上的线状区域一边照明一边进行拍摄，并使线状区域移动，由此获取检查面的图像。照明部具有光源部、照明光学系统、及辅助光学元件。辅助光学元件使来自光源部的光的一部分一边相对于虚拟面倾斜，一边向包含线状区域与虚拟面交叉的位置的交叉区域引导，所述虚拟面相对于线状区域延伸的横方向垂直且包含摄像光轴。由此，不会使照明部的构造复杂化，能够使交叉区域中在检查对象的移动方向上延伸的凸状或凹状的缺陷呈现在图像中，从而能够检测缺陷。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	株式会社斯库林集团
发明人：	村冈力夫
专利状态：	有效
申请号：	CN201810743640.X
公开号：	CN109540899A
代理机构：	北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：	杨文娟;臧建明
分类号：	G01N21/88(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	日本京都府京都市上京区堀川通寺之内上4丁目天神北町1番地之1
主权项：	1.一种检查装置，其特征在于包括：支撑部，对具有作为检查对象的检查面的对象物进行支撑；照明部，对所述检查面上的线状区域进行照明；摄像部，对所述线状区域进行拍摄；以及移动机构，在与所述检查面平行且相对于所述线状区域延伸的横方向垂直的移动方向上，使所述支撑部相对于所述照明部及所述摄像部相对地移动，所述摄像部的摄像光轴相对于所述横方向垂直，所述照明部包括：光源部；照明光学系统，将从所述光源部出射的光一边转换为线状光一边向所述线状区域引导，所述线状光在与相对于所述横方向垂直的面且包含所述摄像光轴的虚拟面平行的方向上具有指向性；以及辅助光学元件，配置于从所述光源部到达所述线状区域的光程上，将来自所述光源部的光的一部分一边相对于所述虚拟面倾斜，一边向所述线状区域中的包含所述线状区域与所述虚拟面交叉的位置的交叉区域引导。
所属类别：	发明专利