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搬送装置、真空处理装置、以及搬送方法
| 专利名称： | 搬送装置、真空处理装置、以及搬送方法 |
| 摘要： | 本发明是一种能够在不使装置大型化的情况下使基板搬送处理的装卸效率提高的搬送装置(30)。搬送装置(30)包括搬送托架(17)、能够支持搬送托架的托架平台(38)、升降机构(32)、和滑动机构(31)，所述搬送托架在将基板以竖立状态支承的同时在第1搬送通道(R1)和第2搬送通道(R2)之间搬送所述基板，所述升降机构使托架平台上升而使搬送托架从各个搬送通道脱离、并使托架平台下降而将搬送托架载置到各个搬送通道上，所述滑动机构使所述升降机构在第1以及第2搬送通道之间移动。升降机构(32)包括锁定机构(37)，该锁定机构与托架平台的上升动作联动而将搬送托架锁定在托架平台上，并且与托架平台的下降动作联动来解除搬送托架的锁定状态。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 株式会社爱发科 |
| 发明人： | 吉田大介 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2009-02-26T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200980105985.1 |
| 公开号： | CN101952950A |
| 代理机构： | 上海金盛协力知识产权代理有限公司 31242 |
| 代理人： | 段迎春 |
| 分类号： | H01L21/677(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本国神奈川县 |
| 主权项： | 一种搬送基板的搬送装置，其特征在于，具备：搬送托架，其在将所述基板以竖立状态支承的同时，在第1搬送通道和第2搬送通道之间搬送所述基板；能够支承所述搬送托架的托架平台；升降机构，其使所述托架平台上升而使所述搬送托架从所述各个搬送通道脱离，并且使所述托架平台下降而将所述搬送托架载置到所述各个搬送通道上；和滑动机构，其使所述升降机构在所述第1以及第2搬送通道之间移动，所述升降机构包括锁定机构，该锁定机构与所述托架平台的上升动作联动将所述搬运托架锁定在所述托架平台上，并且与所述托架平台的下降动作联动来解除所述搬送托架的锁定状态。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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