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原文传递搬送装置及真空处理装置

专利名称：	搬送装置及真空处理装置
摘要：	本发明的目的在于，实现简化电子束描画装置用的搬送装置。解决手段是：所述装置含有具备使搬送装置(100)可在水平方向上相互滑动的第1滑动台(53A)和第2滑动台(53B)的多级滑块(50)、分别将第1滑动台(53A)和第2滑动台(53B)向着X轴方向驱动的同步机构臂(70)而构成。利用开闭单元(60)使同步机构臂(70)伸长或伸缩，藉此汇总驱动多个第1滑动台(53A)和第2滑动台(53B)。由此，不必对多个第1滑动台(53A)和第2滑动台(53B)个别进行控制，能够使搬送装置(100
专利类型：	发明专利
申请人：	株式会社理光
发明人：	村山升
专利状态：	有效
申请日期：	2007-03-13T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200710088653.X
公开号：	CN101038447
代理机构：	上海市华诚律师事务所
代理人：	徐申民;张惠萍
分类号：	G03F7/20(2006.01)I
申请人地址：	日本东京都大田区中马込1丁目3番6号
所属类别：	发明专利